[发明专利]一种检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 200710169932.9 | 申请日： | 2007-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN101149568A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 丘俊轩 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种检测装置及其检测方法，其适用于一曝光机内部。该检测装置包含一检测电路以及复数个感知组件，其中该检测电路用于检测该曝光机内导轨的各表面与相对应滑道的实际间距，并根据所检测到的实际间距以产生一检测结果。所述的感知组件是根据该检测电路所产生的检测结果以决定是否执行显示动作。藉此，可有效地避免导轨与对应的调整装置相互接触而受到损伤，从而降低产量损失及减少人力的付出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，其适用于检测曝光机内部导轨的各表面与相对应滑道的间距，其特征在于，该检测装置包含：一检测电路，设置在与导轨的各表面呈相对位置的滑道内，并执行一检测运作以检测所述的曝光机内导轨的各表面与相对应滑道的实际间距是否维持于曝光机可正常工作的一特定间距范围内，且根据所检测到的实际间距产生一检测结果；复数个检测区域，其设置在检测电路内部，并可根据该检测电路的检测结果产生一显示信号，以及复数个感知组件，其电性连接所述的检测区域，并用于接收由检测区域所产生的显示信号，且根据该显示信号以决定是否执行显示动作。
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