[发明专利]多重曝光装置有效
| 申请号： | 200710169544.0 | 申请日： | 2007-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101183221A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 奥山隆志 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供以不使数据转送的规模扩大而进行从控制部朝装置头部的数据转送的装置。多重曝光装置(1)具备在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的向量数据的绘制数据而被作成的网格数据的复数的曝光数据中、基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据的曝光数据产生部(11)。具备具有在曝光用中被使用的DMD(33)、以及基于差异数据驱动DMD的组件控制部(31)的装置头部(30)。 | ||
| 搜索关键词： | 多重 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多重曝光装置，包括：控制部，在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的向量数据的绘制数据而被作成的网格数据的上述复数曝光数据中，基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据；以及曝光头部，具有在上述曝光用中被使用的DMD、以及基于上述差异数据驱动上述DMD的组件控制部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社ORC制作所，未经株式会社ORC制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710169544.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
