[发明专利]多重曝光装置有效
| 申请号： | 200710169544.0 | 申请日： | 2007-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101183221A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 奥山隆志 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多重 曝光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多重曝光装置，包括：
控制部，在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的向量数据的绘制数据而被作成的网格数据的上述复数曝光数据中，基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据；以及
曝光头部，具有在上述曝光用中被使用的DMD、以及基于上述差异数据驱动上述DMD的组件控制部。
2.如权利要求1所述的多重曝光装置，其中上述控制部将上述曝光数据中的对应于最初的曝光的第一曝光数据和上述差异数据转送至上述曝光头部，
上述组件控制部在上述最初的曝光中，基于上述第一曝光数据，驱动上述DMD，从次一曝光起，基于上述差异数据驱动上述DMD。
3.如权利要求1所述的多重曝光装置，其中上述差异数据基于上述前后的曝光数据的排他性逻辑而被求出。
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