[发明专利]多重曝光装置有效
申请号: | 200710169544.0 | 申请日: | 2007-11-09 |
公开(公告)号: | CN101183221A | 公开(公告)日: | 2008-05-21 |
发明(设计)人: | 奥山隆志 | 申请(专利权)人: | 株式会社ORC制作所 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 党晓林 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多重 曝光 装置 | ||
技术领域
本发明涉及多重曝光装置,特别是涉及进行用以将DMD(数字微型反射镜组件,digital micromirror device)等的二次元显示组件驱动的曝光数据的转送的装置。
背景技术
习知使用DMD等的二次元显示组件的多重曝光装置被提案(例如,专利文献1)。
专利文献1:日本特开2006-53325号公报
在使用专利文献1的装置等DMD等的二次元显示组件的多重曝光装置中,曝光数据从驱动二次元显示组件用的位图(bitmap)型式的曝光数据被作成(被绘制数据处理)的控制部、被转送至基于曝光数据驱动二次元显示组件的装置头部。
位图型式的曝光数据由于数据尺寸大,有关从控制部朝装置头部的转送,LVDS(低电压差分讯号,Low Voltage Differential Signaling)等的高速转送方式被复数段使用。因此,数据转送的电路规模扩大。
发明内容
因此,本发明的目的提供不使数据转送的规模扩大而进行从控制部朝装置头部的数据转送的装置。
有关本发明的多重曝光装置包括:控制部,在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的向量(vector)数据的绘制数据而被作成的网格(raster)数据的复数的曝光数据中,基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据;以及曝光头部,具有在曝光用中被使用的DMD、以及基于差异数据驱动DMD的组件控制部。
较佳的是控制部将曝光数据中的对应于最初的曝光的第一曝光数据、和差异数据转送至曝光头部,组件控制部在最初的曝光中,基于第一曝光数据,驱动DMD,从次一曝光起,基于差异数据驱动DMD。
又,较佳的是差异数据基于前后的曝光数据的排他性逻辑而被求出。
发明的效果
如上述般,根据本发明,可提供不使数据转送的规模扩大而进行从控制部朝装置头部的数据转送的装置。
附图说明
第1图为表示本实施例中的多重曝光装置的立体图;
第2图为多重曝光装置的构成图;
第3图为表示基于第n曝光数据的第n画像的图示;
第4图为表示基于第(n-1)曝光数据的第(n-1)画像的图示;以及
第5图为表示基于作为第n画像和第(n-1)画像的差异的第n差异数据的第n差异画像的图示。
符号说明
1:多重曝光装置;
10:控制部;
11:曝光数据产生部;
13:内存;
15:判别部;
30:装置头部;
31:组件控制部;
33:DMD。
具体实施方式
以下利用图示说明有关本实施例。本实施例中的多重曝光装置1包括控制部10、以及装置头部30(参考第1图)。控制部10基于在连续而被复数进行的曝光用中被使用的绘制数据(向量数据、CAD数据),进行制作复数的曝光数据(网格数据)的绘制数据处理。装置头部30具有DMD 33以及驱动DMD 33的组件控制部31。
控制部10具有曝光数据产生部11、内存13、以及判别部15(参考第2图)。曝光数据产生部11基于绘制数据依序制作第1~第N曝光数据D1~DN。N为1以上的整数。第1曝光数据D1为在绘制面上的最初曝光领域(第1曝光领域f1)曝光用而被制作的曝光数据,第n曝光数据Dn为从绘制面上的第1曝光领域f1在以(n-1)×每次的移动量在x方向或y方向被移动的曝光领域(第n曝光领域fn)曝光用而被制作的曝光数据。n为2以上N以下的整数。每次的移动量包含DMD 33的装置头部30对于搭载绘制面的绘制桌(或绘制桌对于DMD 33)相对的移动量,在一次的移动,使其被移动在绘制面上的邻接的曝光领域。
内存13将被制作的曝光数据的一个暂时纪录。具体而言,第(n-1)曝光数据Dn-1在内存13被暂时纪录的状态下,在将第n曝光数据Dn在内存13暂时纪录时,第(n-1)曝光数据Dn-1被消去。
第1曝光数据D1被转送至装置头部30。第2~第N曝光数据D2~DN不被转送。
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