[发明专利]带状基底镀覆装置及其配置方法无效
| 申请号: | 200710166136.X | 申请日: | 2007-11-09 |
| 公开(公告)号: | CN101191192A | 公开(公告)日: | 2008-06-04 |
| 发明(设计)人: | S·库珀 | 申请(专利权)人: | 莱博德光学有限责任公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 蔡民军;胡强 |
| 地址: | 德国阿*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | 本发明提供一种带状基底镀覆装置,该基底能在运动方向(X)上相对蒸发器组运动,蒸发器组具有多个可被加热的蒸发舟(9,9’,10,10’),所述多个蒸发舟相互紧邻地布置在蒸发器组中,蒸发舟的纵轴线相对运动方向(X)成一个角度(α,α’;β,β’),该角度的绝对值介于1°至89°范围。该带状基底镀覆装置具有用于输送待蒸发线材至蒸发舟(9,9’,10,10’)的装置(12,13),其中所述多个蒸发舟(9,9’,10,10’)交替并排布置,纵轴线相对该运动方向(X)沿逆时针偏转的蒸发舟(9,9’)位于纵轴线相对该运动方向(X)沿顺时针偏转的蒸发舟(10,10’)的旁边。本发明还提供一种带状基底镀覆装置的配置方法。 | ||
| 搜索关键词: | 带状 基底 镀覆 装置 及其 配置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种带状基底(8)镀覆装置,该基底(8)能在运动方向(X)上相对蒸发器组运动,该蒸发器组具有多个可被加热的蒸发舟(9,9’,10,10’),所述多个蒸发舟相互紧邻地布置在该蒸发器组中,所述蒸发舟的纵轴线相对该运动方向(X)成一个角度(α,α’,β,β’),该角度的绝对值介于1°至89°范围,该带状基底镀覆装置具有用于输送待蒸发线材至所述蒸发舟(9,9’,10,10’)的装置(12,13),其特征在于,所述多个蒸发舟(9,9’,10,10’)交替并排布置,纵轴线相对该运动方向(X)沿逆时针偏转的蒸发舟(9,9’)位于纵轴线相对该运动方向(X)沿顺时针偏转的蒸发舟(10,10’)的旁边。
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