[发明专利]带状基底镀覆装置及其配置方法

说明书

技术领域

本发明涉及带状基底镀覆装置，其中基底能在运动方向上相对蒸发器组运动，蒸发器组具有可被加热的多个蒸发舟，所述多个蒸发舟相互紧邻地布置在蒸发器组中，蒸发舟的纵轴线相对运动方向成一个角度，该角度的绝对值介于1°至89°范围，带状基底镀覆装置具有用于输送待蒸发线材至蒸发舟的装置。本发明还涉及带状基底涂覆装置的配置方法。

背景技术

为了在带状基底(基材)上镀覆金属，众所周知地采用形成蒸发器组的镀覆源。镀覆源通常呈长条形，因此被称为蒸发舟。蒸发材料且优选是铝通过各蒸发舟形成蒸发束流，蒸发束流具有蒸发材料的特征性强度分布或发射特性。在典型的带材镀覆装置中，带状基底从开料筒卷中被放出并被送往收料筒卷，其同时在蒸发器组上方的区域内运动，从而基底的朝下表面将被镀上在蒸发舟中蒸发出的金属。

德国专利公告号DE 4027034C1以及欧洲专利公告号EP 074964B1公开一种专用的带状基底连续镀覆设备。依此设有多个具有大致相同的尺寸和形状的蒸发舟，它们构成蒸发器组并且沿蒸发器组排列方向的纵向以大致等间距的方式平行布置。这些蒸发舟全由导电陶瓷制成并可以直接通电加热。另外，设有用于将待蒸发线材连续供给蒸发舟的装置。蒸发器组的这些相互平行或平行于蒸发器组排列方向布置的蒸发舟分别相互错开布置，在这里，所有的蒸发舟共同覆盖一个狭长的镀覆区，该镀覆区的延伸方向横向于带材的运动方向。

还从德国专利公告号DE 4027034C1和欧洲专利公告号EP 074964B1中公开了，由于若干镀覆源的蒸发束流叠加而在待镀覆的带材上出现了不均匀的镀层分布。在理想的情况下，这是一种波浪形分布，波峰或波谷位于蒸发舟之间或蒸发舟之上。可最佳获得的镀层均匀性将取决于波峰波谷的高低，在这里，波峰波谷的高低与这些蒸发舟布置形成的几何形状、蒸发舟的发射特性以及蒸发舟的蒸发束流的交互作用有关。为了在蒸发器组的多个蒸发舟相互平行布置的情况下改善镀层均匀性，在上述文献中提出以相互交错的方式布置蒸发舟，从而这些蒸发舟共同覆盖一个狭长的镀覆区。可是，此时在镀覆作业中出现了效率损失。

还从欧洲专利申请公开号EP 1408135A1中公开一种镀覆装置，它具有多个相互紧邻的蒸发舟，这些蒸发舟相对基底运动方向成一定角度地布置。为了获得更高的镀层均匀性，在每个蒸发舟中设置许多个蒸发槽，这样一来，应该产生更高的镀覆质量。

发明内容

本发明的任务是提供另一种更好的可行方案，其中带状基底借助构成蒸发器组的蒸发舟的镀覆将获得更高的镀覆质量。

为了完成上述任务，本发明提供一种带状基底镀覆装置，其中基底能在运动方向上相对蒸发器组运动，蒸发器组具有可被加热的多个蒸发舟，所述多个蒸发舟相互紧邻地布置在蒸发器组中，蒸发舟的纵轴线相对运动方向成一个角度，该角度的绝对值介于1°至89°范围，带状基底镀覆装置具有用于输送待蒸发线材至蒸发舟的装置。根据本发明，所述多个蒸发舟交替并排布置，纵轴线相对该运动方向沿逆时针偏转的蒸发舟位于纵轴线相对该运动方向沿顺时针偏转的蒸发舟的旁边。

本发明规定，蒸发器组由A数量的蒸发舟和B数量的蒸发舟组成。在镀覆过程中，带状基底可以在垂直于方向Y的运动方向X上运动。A数量的蒸发舟具有介于L0-δA至L0+δA范围的长度LA，而B数量的蒸发舟具有介于L0-δB至L0+δB范围的长度LB。A数量的蒸发舟和B数量的蒸发舟布置在一个平行于方向Y延伸的区域内，该区域的沿运动方向X的宽度最大为2L0+δA+δB。

A数量的蒸发舟分别相对运动方向X以介于-1°至-89°范围的角度α布置，该角度沿顺时针方向取向。B数量的蒸发舟分别相对运动方向X以介于1 °至89°范围的角度β布置，该角度沿顺时针方向取向。A数量的蒸发舟和B数量的蒸发舟交替并排布置，它们形象地说构成鱼骨图形。据此，A数量的蒸发舟和B数量的蒸发舟分别相对运动方向X具有一定的平行度偏差。另外，A数量的蒸发舟分别相对B数量的蒸发舟偏转。