[发明专利]带状基底镀覆装置及其配置方法

权利要求书

1.一种带状基底(8)镀覆装置，该基底(8)能在运动方向(X)上相对蒸发器组运动，该蒸发器组具有多个可被加热的蒸发舟(9，9’，10，10’)，所述多个蒸发舟相互紧邻地布置在该蒸发器组中，所述蒸发舟的纵轴线相对该运动方向(X)成一个角度(α，α’，β，β’)，该角度的绝对值介于1°至89°范围，该带状基底镀覆装置具有用于输送待蒸发线材至所述蒸发舟(9，9’，10，10’)的装置(12，13)，其特征在于，所述多个蒸发舟(9，9’，10，10’)交替并排布置，纵轴线相对该运动方向(X)沿逆时针偏转的蒸发舟(9，9’)位于纵轴线相对该运动方向(X)沿顺时针偏转的蒸发舟(10，10’)的旁边。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，沿逆时针偏转的所述蒸发舟(9，9’)的角度(α，α’)的绝对值或者沿顺时针偏转的所述蒸发舟(10，10’)的角度(β，β’)的绝对值介于2°至10°范围。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所有的蒸发舟(9，9’，10，10’)的角度(α，α’，β，β’)的绝对值介于2°至10°范围。

4.根据权利要求1、2或3所述的装置，其特征在于，所述蒸发舟(9，9’，10，10’)的角度(α，α’，β，β’)具有近似相等的绝对值。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述蒸发舟(9，9’，10，10’)的角度(α，α’，β，β’)的绝对值约等于5°。

6.根据权利要求1、2、3、4或5所述的装置，其特征在于，相邻的所述蒸发舟(9，10；10，9’；9’，10’)在该运动方向(X)上重叠。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，沿逆时针偏转的所述蒸发舟(9，9’)布置在一个狭长区(SA)内，沿顺时针偏转的所述蒸发舟(10，10’)布置在另一个狭长区(SB)内，上述两个狭长区(SA，SB)具有重叠区域(Z)。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，每个所述狭长区(SA，SB)具有恒定的宽度(BA，BB)。

9.根据权利要求6或7所述的装置，其特征在于，所述两个狭长区(SA，SB)垂直于该运动方向(X)布置。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的装置，其特征在于，按照以下方式选择所述角度(α，α’，β，β’)，通过该蒸发器组在该基底(8)上产生的镀覆层具有最小的层厚波动。

11.一种带状基底镀覆装置的配置方法，该基底(8)在运动方向(X)上相对蒸发器组运动，该蒸发器组具有多个可被加热的蒸发舟(9，9’，10，10’)和用于输送待蒸发线材至所述蒸发舟(9，9’，10，10’)的装置(12，13)，所述多个蒸发舟(9，9’，10，10’)相互紧邻地布置在该蒸发器组中，所述蒸发舟(9，9’，10，10’)的纵轴线相对该运动方向(X)成一个角度(α，α’，β，β’)，该角度的绝对值介于1°至89°范围，其特征在于，所述多个蒸发舟(9，9’，10，10’)交替并排布置，纵轴线相对该运动方向(X)沿逆时针偏转的蒸发舟(9，9’)位于纵轴线相对该运动方向(X)沿顺时针偏转的蒸发舟(10，10’)的旁边。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，按照以下方式选择所述角度(α，α’；β，β’)，通过该蒸发器组在该基底(8)上形成的镀覆层具有最小的层厚波动。