[发明专利]用微波等离子体在热塑性容器中沉积内部屏蔽涂料的装置有效
| 申请号: | 200710163701.7 | 申请日: | 2007-10-11 |
| 公开(公告)号: | CN101161859A | 公开(公告)日: | 2008-04-16 |
| 发明(设计)人: | 伊维斯·厄本·杜克拉斯;达米恩·西瑞特 | 申请(专利权)人: | 西得乐公司 |
| 主分类号: | C23C16/511 | 分类号: | C23C16/511;C23C16/44;C23C16/24;C23C16/26;C23C16/30 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;梁挥 |
| 地址: | 法国奥*** | 国省代码: | 法国;FR |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 一种用于利用微波等离子体在由热塑性塑料制成的容器(5)的内壁上沉积屏蔽涂料的装置,该装置包括多个容器处理站(1),每个容器处理站(1)包括处理罩(2)和形成盖(3)并包括真空泵室的上塞,在真空泵室中,用于密封连接到容器(5)的连接器(4)包括与容器(5)的颈(7)共轴的大体管状形状的套筒(6),每个盖(3)还支撑与套筒(6)共轴并适于在处理期间将反应流体注入容器(5)中的注射器(8),其中,形成站组的多个相邻站的选自套筒(6)和注射器(8)中的构件被固定到以桥的形式跨越站(1)的盖(3)延伸的单个支撑板(15,20)上,由此板(15,20)和由板支持的站组的站(1)的构件(6,8)构成能够作为一体被操纵的整体组件(16,21)。 | ||
| 搜索关键词: | 微波 等离子体 塑性 容器 沉积 内部 屏蔽 涂料 装置 | ||
【主权项】:
1.用于利用微波等离子体在由热塑性塑料制成的容器(5)的内壁上沉积屏蔽涂料的装置,该装置包括多个容器处理站(1),每个容器处理站(1)包括处理罩(2)和形成盖(3)并包括真空泵室的上塞,在所述真空泵室中,用于密封连接到容器(5)的连接器(4)包括与容器(5)的颈(7)共轴的大体管状形状的套筒(6),每个盖(3)还支撑与所述套筒(6)共轴的并适用于在处理期间将反应流体注入容器(5)中的注射器(8),其特征在于,形成站组的多个相邻站的选自套筒(6)和注射器(8)中的构件被固定到以桥的形式跨越所述站(1)的盖(3)延伸的单个支撑板(15,20)上,由此所述板(15,20)和由所述板支撑的所述站组的站(1)的构件(6,8)构成整体组件(16,21),该整体组件(16,21)能够作为一体被操纵,以将所述构件(6,8)安装到各自的板(3)上或者从那里移去它们。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西得乐公司,未经西得乐公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200710163701.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:消息系统和方法
- 下一篇:可编程逻辑控制器装置
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





