[发明专利]用微波等离子体在热塑性容器中沉积内部屏蔽涂料的装置有效

专利信息
申请号: 200710163701.7 申请日: 2007-10-11
公开(公告)号: CN101161859A 公开(公告)日: 2008-04-16
发明(设计)人: 伊维斯·厄本·杜克拉斯;达米恩·西瑞特 申请(专利权)人: 西得乐公司
主分类号: C23C16/511 分类号: C23C16/511;C23C16/44;C23C16/24;C23C16/26;C23C16/30
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 徐金国;梁挥
地址: 法国奥*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 一种用于利用微波等离子体在由热塑性塑料制成的容器(5)的内壁上沉积屏蔽涂料的装置,该装置包括多个容器处理站(1),每个容器处理站(1)包括处理罩(2)和形成盖(3)并包括真空泵室的上塞,在真空泵室中,用于密封连接到容器(5)的连接器(4)包括与容器(5)的颈(7)共轴的大体管状形状的套筒(6),每个盖(3)还支撑与套筒(6)共轴并适于在处理期间将反应流体注入容器(5)中的注射器(8),其中,形成站组的多个相邻站的选自套筒(6)和注射器(8)中的构件被固定到以桥的形式跨越站(1)的盖(3)延伸的单个支撑板(15,20)上,由此板(15,20)和由板支持的站组的站(1)的构件(6,8)构成能够作为一体被操纵的整体组件(16,21)。
搜索关键词: 微波 等离子体 塑性 容器 沉积 内部 屏蔽 涂料 装置
【主权项】:
1.用于利用微波等离子体在由热塑性塑料制成的容器(5)的内壁上沉积屏蔽涂料的装置,该装置包括多个容器处理站(1),每个容器处理站(1)包括处理罩(2)和形成盖(3)并包括真空泵室的上塞,在所述真空泵室中,用于密封连接到容器(5)的连接器(4)包括与容器(5)的颈(7)共轴的大体管状形状的套筒(6),每个盖(3)还支撑与所述套筒(6)共轴的并适用于在处理期间将反应流体注入容器(5)中的注射器(8),其特征在于,形成站组的多个相邻站的选自套筒(6)和注射器(8)中的构件被固定到以桥的形式跨越所述站(1)的盖(3)延伸的单个支撑板(15,20)上,由此所述板(15,20)和由所述板支撑的所述站组的站(1)的构件(6,8)构成整体组件(16,21),该整体组件(16,21)能够作为一体被操纵,以将所述构件(6,8)安装到各自的板(3)上或者从那里移去它们。
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