[发明专利]一种毛细管刻蚀导通的方法无效
| 申请号： | 200710159023.7 | 申请日： | 2007-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN101462830A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 张丽华;孙良亮;段继诚;朱贵杰;张维冰;梁振;张玉奎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 马 驰;周秀梅 |
| 地址： | 116023*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种毛细管刻蚀导通的方法，此方法包括两个步骤：用工具对石英毛细管很小的区域进行处理，使毛细管此区域的聚酰亚胺层去掉，壁厚明显减小；将毛细管的处理部分浸没在氢氟酸中进行刻蚀，直至导通。本发明的优点为与传统的刻蚀方法相比，此方法刻蚀导通的毛细管刚性强，不易断裂；此刻蚀方法成功率高；刻蚀导通时间变短；刻蚀过程操作简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 毛细管 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种毛细管刻蚀导通的方法，其特征在于：1)在石英毛细管的外管壁上选取轴向长度0.5-2mm、1/6-1/2直径宽度的区域，采用工具将所选取区域的毛细管外管壁上的聚酰亚胺层去除掉，此时，此区域的壁厚明显减小；2)将毛细管的选取区域浸没在氢氟酸中进行刻蚀，直至导通。
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