[发明专利]一种毛细管刻蚀导通的方法无效
| 申请号： | 200710159023.7 | 申请日： | 2007-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN101462830A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 张丽华;孙良亮;段继诚;朱贵杰;张维冰;梁振;张玉奎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 马 驰;周秀梅 |
| 地址： | 116023*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 毛细管 刻蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种毛细管刻蚀导通的方法，其特征在于：
1)在石英毛细管的外管壁上选取轴向长度0.5-2mm、1/6-1/2直径宽度的区域，采用工具将所选取区域的毛细管外管壁上的聚酰亚胺层去除掉，此时，此区域的壁厚明显减小；
2)将毛细管的选取区域浸没在氢氟酸中进行刻蚀，直至导通。
2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：所述用来去掉毛细管聚酰亚胺层、减小毛细管壁厚的工具为瓷片或刀片。
3.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：所述氢氟酸为质量浓度20-40％的氢氟酸水溶液。
4.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：所述导通状态时，选取区域的毛细管管壁为多孔的网状结构，其管壁厚度为10-20μm。
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