[发明专利]基板用除水剂、使用该除水剂的除水方法及干燥方法无效
| 申请号： | 200710154730.7 | 申请日： | 2007-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN101144051A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 关裕之 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/50 | 分类号： | C11D7/50;F26B5/16;B08B3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种将1，1，1，3，3，3－六氟－2－丙醇作为成分的基板用除水剂。另外，提供包含：准备基板上具有柱状图案及/或孔状图案的基板的工序；使该基板与水接触的工序；及使该基板与除水剂接触的工序，的除水方法。此外，提供包含在除水方法中的使基板与除水剂接触的工序后，干燥该基板的干燥工序的基板的干燥方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基板用 水剂 使用 方法 干燥 | ||
【主权项】：
1.一种基板用除水剂，其中，将1，1，1，3，3，3-六氟-2-丙醇作为成分。
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