[发明专利]柔性显示装置面板的制造无效
| 申请号： | 200710143065.1 | 申请日： | 2007-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101131495A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 黄泰亨;伊万·尼库林;全亨一;金相日;卢南锡 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;H01L21/67;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于LCD的显示面板的制造方法，包括：在柔性绝缘基板上形成栅极线；在栅极线上沉积栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成半导体层；以及在半导体层和栅极绝缘层上形成数据线和漏电极。半导体层的形成可以在大约100℃至大约180℃通过PECVD来完成，栅极绝缘层可具有大约2000至5500的厚度。该方法进一步包括：在沉积栅极绝缘层之后在栅极绝缘层上执行氢等离子体处理；以及在形成数据线和漏电极之后对具有多个薄膜的基板进行退火。绝缘基板可含有PES。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 显示装置 面板 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于LCD的显示面板的制造方法，包括：在柔性绝缘基板上形成栅极线；在所述栅极线上沉积栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上形成半导体层；以及在所述半导体层和所述栅极绝缘层上形成数据线和漏电极，其中，所述半导体层的形成在大约100℃至大约180℃通过PECVD来完成。
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