[发明专利]彩色滤光片的制造方法无效
| 申请号： | 200710140973.5 | 申请日： | 2007-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN101369097A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡怀萱;欧富国 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司;联诚光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G02B5/23 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种彩色滤光片的制造方法。首先，提供基板，基板包括第一区与第二区。接着，在第一区上依序形成第一彩色滤光膜(dichroic layer)与第一掩模层。之后，在基板上形成第二彩色滤光膜，以覆盖第一掩模层与第二区的基板表面。然后，在第二区的第二彩色滤光膜上形成第二掩模层。继之，蚀刻第一区上以及第一掩模层与第二掩模层之间的第二彩色滤光膜。之后，移除第一掩模层与第二掩模层。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种彩色滤光片的制造方法，包括：提供基板，该基板包括第一区与第二区；在该第一区上依序形成第一彩色滤光膜与第一掩模层；在该基板上形成第二彩色滤光膜，以覆盖该第一掩模层与该第二区的基板表面；在该第二区的该第二彩色滤光膜上形成第二掩模层；蚀刻该第一区上以及该第一掩模层与该第二掩模层之间的该第二彩色滤光膜；以及移除该第一掩模层与该第二掩模层。
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