[发明专利]彩色滤光片的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种滤光片的制造方法，且特别涉及一种彩色滤光片的制造方法。

背景技术

彩色滤光片(Color filter)可以过滤光源所发出的光，是许多显示元件中不可或缺的构件。举例来说，液晶显示器(LCD)以及互补式影像感测器(CIS)均是通过彩色滤光片来达到彩色化显示的效果。彩色滤光片通常是由不同折射率的彩色滤光膜(dichroic layer)交错叠合而成，以达成对特定波长过滤的目的。

已知彩色滤光片的制作方法，通常，是先在基板上形成图案化的光刻胶层，再将具有不同折射率的彩色滤光膜形成在图案化的光刻胶层与基板上。接着，再利用剥除法(lift-off process)，在移除光刻胶时，同时将光刻胶层上所覆盖的彩色滤光膜移除，以达到图案化的目的。

然而，请参照图1，以上述的方法在基板100的第一区102、第二区104、第三区106上分别形成第一彩色滤光膜108、第二彩色滤光膜112以及第三彩色滤光膜120之后，在第二彩色滤光膜112和第三彩色滤光膜120的边缘均会因为采用剥除法而在侧边留下边缘突起130，而严重影响滤光片的效能。

发明内容

本发明的目的就是在提供一种彩色滤光片的制造方法，其可以避免在所形成的图案化彩色滤光膜上留下边缘突起，以增加滤光的效能。

本发明提出一种彩色滤光片的制造方法。首先，提供基板，基板包括第一区与第二区。接着，在第一区上依序形成第一彩色滤光膜(dichroic layer)与第一掩模层。之后，在基板上形成第二彩色滤光膜，以覆盖第一掩模层与第二区的基板表面。然后，在第二区的第二彩色滤光膜上形成第二掩模层。继之，蚀刻第一区上以及第一掩模层与第二掩模层之间的第二彩色滤光膜。之后，移除第一掩模层与第二掩模层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，第一掩模层包括光刻胶层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，第二掩模层包括有机材料层或是缓冲层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，第一彩色滤光膜与第二彩色滤光膜是选自于TiO₂、Ta₂O₅、SiO₂、Ru_xO_y、ZnS、MgF₂组合的族群的堆叠层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，基板还包括第三区，使第一区介于第二区与第三区之间，且上述方法还包括在第一彩色滤光膜与第二彩色滤光膜上形成第三掩模层。之后，在基板上形成第三彩色滤光膜，以覆盖第三掩模层与第三区的基板表面。然后，在第三区的第三彩色滤光膜上形成第四掩模层。其后，回蚀刻第三彩色滤光膜，以去除第三掩模层上以及第三与第四掩模层之间的第三彩色滤光膜。之后，移除第三、第四掩模层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，第三掩模层包括光刻胶层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，第四掩模层包括有机材料层或是缓冲层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，第三彩色滤光膜是选自于TiO₂、Ta₂O₅、SiO₂、Ru_xO_y、ZnS、MgF₂组合的族群的堆叠层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，基板还包括第三区，使第一区介于第二区与第三区之间，且上述方法还包括在第一彩色滤光膜与第二彩色滤光膜上形成中间层。之后，在基板上形成第三彩色滤光膜，以覆盖中间层与第三区的基板表面。然后，在第三区的第三彩色滤光膜上形成第三掩模层。接着，回蚀刻第三彩色滤光膜，以去除中间层上以及第三掩模层与中间层之间的第三彩色滤光膜。之后，移除第三掩模层以及中间层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，第三掩模层包括有机材料层或是缓冲层。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，中间层的材料包括氧化硅或是旋涂式玻璃。

依照本发明实施例所述的彩色滤光片的制造方法中，第三彩色滤光膜是选自于TiO₂、Ta₂O₅、SiO₂、Ru_xO_y、ZnS、MgF₂组合的族群的堆叠层。