[发明专利]压印方法和压印装置无效
| 申请号： | 200710139957.4 | 申请日： | 2007-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN101118380A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 安藤拓司;小森谷进;荻野雅彦;宮内昭浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是一种压印方法，其特征在于，包括：在调整所述压模和所述被转印体的相对位置时，至少检测2点以上所述被转印体的端部位置，根据检测的端部位置计算任意点的步骤；根据所述压模的端部或形成在压模上的对准标记检测压模的位置的步骤；根据所述任意点和压模的位置调整所述被转印体和所述压模的相对位置的步骤。在压印方法和装置中，不在被转印体设置对准图案，能以高精度把被转印体和压模的相对位置对准。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种压印方法，包括调整在表面具有凹凸图案的压模和被转印体的相对位置的步骤、使所述压模的凹凸图案面与所述被转印体接触加压并且在所述被转印体上转印所述压模的凹凸图案的步骤、从所述被转印体剥离所述压模的步骤，其特征在于：作为调整所述压模和所述被转印体的相对位置的步骤，包括：至少检测2点以上的所述被转印体的端部位置，并根据检测的端部位置计算任意点的步骤；根据所述压模的端部或形成在压模上的对准标记检测压模的位置的步骤；根据所述任意点和压模的位置调整所述被转印体和所述压模的相对位置的步骤。
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