[发明专利]压印方法和压印装置

权利要求书

1.一种压印方法，包括调整在表面具有凹凸图案的压模和被转印体的相对位置的步骤、使所述压模的凹凸图案面与所述被转印体接触加压并且在所述被转印体上转印所述压模的凹凸图案的步骤、从所述被转印体剥离所述压模的步骤，其特征在于：

作为调整所述压模和所述被转印体的相对位置的步骤，包括：

至少检测2点以上的所述被转印体的端部位置，并根据所检测出的端部位置计算所述被转印体的任意点的步骤；

检测所述压模的端部或形成在压模上的对准标记的2点以上，并根据所检测出的所述压模的端部或形成在压模上的对准标记，计算所述压模的任意点的步骤；

根据所述被转印体的任意点和所述压模的任意点调整所述被转印体和所述压模的相对位置的步骤。

2.根据权利要求1所述的压印方法，其特征在于：

利用透过光强度的差，检测所述被转印体的端部位置、和所述压模的端部或对准标记的位置。

3.根据权利要求2所述的压印方法，其特征在于：

由光检测器检测从光照射机构对所述被转印体和所述压模照射的照射光的透过光强度，根据所述光检测器的检测结果，检测所述被转印体的端部位置、和所述压模的对准标记或端部位置。

4.根据权利要求3所述的压印方法，其特征在于：

至少设置2个所述光检测器，分别检测所述被转印体的不同位置的端部。

5.根据权利要求1所述的压印方法，其特征在于：

在所述被转印体的中心形成孔，所检测的端部是所述中心孔端部。

6.根据权利要求5所述的压印方法，其特征在于：

形成在所述压模上的凹凸图案是具有同心圆状的图案形状。

7.根据权利要求1所述的压印方法，其特征在于：

所述压模或所述被转印体的任一方是透明体。

8.一种压印装置，用于把具有凹凸图案的压模按压在被转印体上以在被转印体上转印所述压模的凹凸图案，其特征在于，包括：

光照射机构，设置在所述被转印体或所述压模的任意一方的背面方向、至少对所述被转印体的端部照射光；

光检测机构，设置在所述被转印体或压模的另一方的背面方向、检测从所述光照射机构对所述被转印体的端部照射的光；

位置检测部件，根据所述光检测机构的检测结果，检测所述被转印体的2点以上的端部位置，并根据所检测出的端部位置计算所述被转印体的任意点；

位置调整机构，根据由所述位置检测部件检测出的位置信息调整所述被转印体和所述压模的相对位置。

9.根据权利要求8所述的压印装置，其特征在于：

至少设置2个所述光检测机构，所述光检测机构分别检测不同地方的端部位置。

10.根据权利要求8所述的压印装置，其特征在于：

所述光检测机构的焦点深度大于等于所述被转印体的厚度。

11.根据权利要求8所述的压印装置，其特征在于：

所述光检测机构检测从所述光照射机构照射出的光的透过光强度。

12.根据权利要求8所述的压印装置，其特征在于：

在所述被转印体的中心部形成有孔，利用所述位置检测部件检测所述被转印体的中心孔端部的位置。

13.根据权利要求8所述的压印装置，其特征在于：

利用所述光照射机构，同时用光照射所述被转印体的端部、和形成在所述压模上的对准标记或压模的端部；

利用所述光检测机构，检测基于来自所述光照射机构的照射光的所述被转印体的端部、和形成在所述压模上的对准标记或压模的端部的透过光强度；

利用所述位置检测部件根据由所述光检测机构检测出的透过光强度的差检测所述被转印体的端部位置、和所述压模的对准标记的位置或压模的端部位置。