[发明专利]充气装置

摘要

本发明提供一种充气装置，可将供给管抽成真空后充入气体，即使不设置净化装置也不会使杂质混入气体内，并可减少向外部排出的气体量。所述充气装置包括：通过主供给阀(12)连接有供给充入气体的气体源(8)并在末端上连接有应充入所述充入气体的充入容器(2)的供给管(4)；对供给管(4)内部的气体进行真空排气的真空排气构件(21)；以及通过连通阀(16、17)与供给管(4)相连的缓冲容器(14)，在连通阀(16、17)的开闭下，利用供给管(4)与缓冲容器(14)的压力差将充入气体的一部分回收到缓冲容器(14)中，再利用供给管(4)与缓冲容器(14)的压力差将缓冲容器(14)内的充入气体的一部分向供给管(4)供给。

主权项

1.一种充气装置，其特征在于，包括：通过主供给阀连接有供给充入气体的气体源并在末端上连接有将所述充入气体充入的充入容器的供给管；对所述供给管内部的气体进行真空排气的真空排气构件；以及通过连通阀与所述供给管相连的缓冲容器，在关闭所述连通阀的状态下打开所述主供给阀而向所述充入容器供给所述充入气体，在对所述充入容器进行密封且关闭所述主供给阀后打开所述连通阀，利用所述供给管与所述缓冲容器的压力差将所述充入气体的一部分回收到所述缓冲容器中，在关闭所述连通阀且更换所述充入容器后，利用所述真空排气构件对所述供给管内部的气体进行真空排气，打开所述连通阀，利用所述供给管与所述缓冲容器的压力差将所述缓冲容器内的所述充入气体的一部分向所述供给管供给，在关闭所述连通阀后，打开所述主供给阀，向所述充入容器供给所述充入气体直到规定压力。