[发明专利]充气装置有效
| 申请号: | 200710138705.X | 申请日: | 2007-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN101110310A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
| 发明(设计)人: | 北浦正敏;惠上寿雄 | 申请(专利权)人: | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号: | H01J9/395 | 分类号: | H01J9/395;H01K3/22;H01K3/24 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 方晓虹 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 充气 装置 | ||
1.一种充气装置,其特征在于,包括:
通过主供给阀连接有供给充入气体的气体源并在末端上连接有将所述充入气体充入的充入容器的供给管;
对所述供给管内部的气体进行真空排气的真空排气构件;以及
通过连通阀与所述供给管相连的缓冲容器,
在关闭所述连通阀的状态下打开所述主供给阀而向所述充入容器供给所述充入气体,
在对所述充入容器进行密封且关闭所述主供给阀后打开所述连通阀,利用所述供给管与所述缓冲容器的压力差将所述充入气体的一部分回收到所述缓冲容器中,
在关闭所述连通阀且更换所述充入容器后,利用所述真空排气构件对所述供给管内部的气体进行真空排气,
打开所述连通阀,利用所述供给管与所述缓冲容器的压力差将所述缓冲容器内的所述充入气体的一部分向所述供给管供给,
在关闭所述连通阀后,打开所述主供给阀,向所述充入容器供给所述充入气体直到规定压力。
2.如权利要求1所述的充气装置,其特征在于,包括在从所述缓冲容器向所述供给管供给所述充入气体时调整所述充入气体流量的流量调整构件。
3.如权利要求2所述的充气装置,其特征在于,所述连通阀包括:通过所述流量调节构件将所述缓冲容器连接到所述供给管上的再供给阀、以及不通过所述流量调节构件而直接将所述缓冲容器连接到所述供给管上的回收阀。
4.如权利要求1至3中任一项所述的充气装置,其特征在于,包括对所述缓冲容器内的气体进行直接排气的缓冲排气构件。
5.如权利要求1至4中任一项所述的充气装置,其特征在于,所述缓冲容器可改变容积。
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