[发明专利]充气装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种充气装置。

背景技术

等离子体显示板(PDP)需要在两块玻璃的间隙中充入发光气体。为了在等离子体显示板中充入发光气体，在发光气体的供给管上连接等离子体显示板，并在对供给管及等离子体显示板的内部进行了真空排气后向供给管供给发光气体，从而将发光气体引入等离子体显示板中，对等离子体显示板进行密封。

在下一次向等离子体显示板充入发光气体时，必须在将充入了发光气体的等离子体显示板从供给管上取下后连接新的等离子体显示板，并再次对供给管及等离子体显示板的内部进行真空排气。此时，残留在供给管内的发光气体全部向外部排出。

由于等离子体显示板的间隙为狭窄空间，因此在现有的充气装置中，残留在供给管内而向外部排出的发光气体量有时甚至是充入等离子体显示板中的发光气体量的几倍。由于发光气体昂贵，因此期望减少使用量。

在专利文献1中公开了在白炽灯中充入稀有气体的装置，在该装置中设有残留气体回收构件，该回收构件对残留在向白炽灯供给气体的中心阀内的稀有气体进行回收，并将其回送到气体供给源的箱体中。

专利文献1中并未提示，残留气体回收构件适用的是真空泵那样的装置。若在等离子体显示板的制造装置中设置真空泵而向气体供给源回送发光气体，则会在发光气体中混入润滑油等杂质。在等离子体显示板中，即使在发光气体中混入一点点杂质，也会明显有损其发光性能。因此，在等离子体显示板的制造装置中设置专利文献1所公开的那种残留气体回收构件时，需要发光气体的净化装置。

专利文献1：日本专利特开2001-84969号公报

发明内容

鉴于上述问题，本发明的课题是提供一种充气装置，可将供给管抽成真空后充入气体，即使不设置净化装置也不会使杂质混入气体内，并可减少向外部排出的气体量。

为了解决上述课题，本发明的充气装置包括：通过主供给阀连接有供给充入气体的气体源并在末端上连接有应充入所述充入气体的充入容器的供给管；对所述供给管内部的气体进行真空排气的真空排气构件；以及通过连通阀与所述供给管相连的缓冲容器，在关闭所述连通阀的状态下打开所述主供给阀而向所述充入容器供给所述充入气体，对所述充入容器进行密封，在关闭所述主供给阀后打开所述连通阀，利用所述供给管与所述缓冲容器的压力差将所述充入气体的一部分回收到所述缓冲容器中，关闭所述连通阀，在更换所述充入容器后，利用所述真空排气构件对所述供给管内部的气体进行真空排气，打开所述连通阀，利用所述供给管与所述缓冲容器的压力差将所述缓冲容器内的所述充入气体的一部分向所述供给管供给，在关闭所述连通阀后，打开所述主供给阀，向所述充入容器供给所述充入气体直到规定压力。

采用该结构，利用供给管与缓冲容器的压力差将残留在供给管内的气体的一部分回收到缓冲容器中，再将回收到缓冲容器中的气体的一部分向供给管供给。因此，可在将充入容器抽成真空时减少气体的排出量。此外，由于无需真空泵那样的动力机构，因此在气体中也不会混入杂质。

本发明的充气装置也可包括在从所述缓冲容器向所述供给管供给所述充入气体时调整所述充入气体流量的流量调整构件。

采用该结构，可降低气体的流速，以使气体不会高速流入充入容器中而破坏充入容器。

在本发明的充气装置中，所述连通阀也可包括：通过所述流量调节构件将所述缓冲容器连接到所述供给管上的再供给阀、以及不通过所述流量调节构件而直接将所述缓冲容器连接到所述供给管上的回收阀。

采用该结构，在将气体从供给管回收到缓冲容器中时，可减少流路阻抗，从而以短时间移动气体。

本发明的充气装置也可包括对所述缓冲容器内的气体进行直接排气的缓冲排气构件。

采用该结构，在开始最初的运行时用缓冲排气构件对缓冲容器内的气体进行排气，因此不会对真空排气构件施加负荷，可迅速地开始运行。

在本发明的充气装置中，所述缓冲容器也可改变容积。

采用该结构，通过改变缓冲容器的容积，可从供给管回收更多的气体，可再次供给更多的气体，可减少向外部排出的气体。

采用本发明，由于利用供给管与缓冲容器的压力差将供给管内的气体回收到缓冲容器中，再从缓冲容器向供给管供给，因此不会使杂质混入气体内，可减少向外部排出的气体量。

附图说明

图1是本发明第1实施形态的充气装置的流程图。

图2是本发明第2实施形态的充气装置的流程图。

图3是本发明第3实施形态的充气装置的流程图。

(符号说明)