[发明专利]用于脆性基板的传送设备有效
| 申请号： | 200710136364.2 | 申请日： | 2007-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101100243A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 金钟相;朴成模 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于脆性基板的传送设备，该传送设备能够防止使用传送带传送基板时的带下方的污染。用于脆性基板的该传送设备包括：传送装置，用于传送待被切割的脆性基板；以及电机部，用于驱动传送装置，其中传送装置包括：沿环形路径行进以传送脆性基板的带部、用于支撑带部的带支撑部、以及用于抽吸带部下方的污染物的抽吸部。因此，可以减少驱动带时带下方的污染物并改善传送性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 脆性 传送 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于脆性基板的传送设备，包括：传送装置，用于传送待切割的脆性基板；以及电机部，用于驱动所述传送装置，其中，所述传送装置包括沿环形路径行进以传送所述脆性基板的带部、用于支撑所述带部的带支撑部、以及用于抽吸所述带部下方的污染物的抽吸装置。
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