[发明专利]用于脆性基板的传送设备

权利要求书

1.一种用于脆性基板的传送设备，包括：

传送装置，用于传送待切割的脆性基板；以及

电机部，用于驱动所述传送装置，

其中，所述传送装置包括沿环形路径行进以传送所述脆性基板的带部、用于支撑所述带部的带支撑部、以及用于抽吸所述带部下方的污染物的抽吸装置。

2.根据权利要求1所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述传送装置进一步包括设置在所述带部与所述带支撑部之间的且覆盖所述带支撑部的带支撑部盖。

3.根据权利要求2所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述抽吸装置包括：抽吸部，用于抽吸所述带部下方的污染物；真空泵，用于执行所述抽吸部的污染物抽吸；以及抽吸管，用于将所述抽吸部连接至所述真空泵。

4.根据权利要求3所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述抽吸部设置在所述带部与所述带支撑部之间。

5.根据权利要求4所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括第一辊和第二辊，所述第一辊和第二辊上安装有所述带部，

其中，所述抽吸部设置在由所述第一辊转动的所述带部的下方以及进入所述第二辊之前的所述带部的下方，以去除由所述第一辊与所述带部之间的摩擦而产生的颗粒以及由所述带部和所述带支撑部盖所产生的颗粒。

6.根据权利要求5所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述抽吸部具有与所述带部的带相同的宽度。

7.根据权利要求6所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当所述第一辊和所述第二辊转动时，所述抽吸装置运行。

8.根据权利要求6所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当所述第一辊和所述第二辊转动时，所述抽吸装置以预定时间间隔运行。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括安装在所述抽吸装置中的刷。

10.根据权利要求9所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述刷包括：第一刷，安装在邻近于所述第一辊的所述抽吸部中，且附着于所述带支撑部盖；以及第二刷，安装在邻近于所述第二辊的所述抽吸部中，且附着于所述带支撑部。

11.根据权利要求3所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括第一辊和第二辊，所述第一辊和第二辊上安装有所述带部，

其中，所述抽吸部设置在已经过所述第二辊的带的上方，以去除在所述第二辊周围产生的污染物。

12.根据权利要求3所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括第一辊和第二辊，所述第一辊和第二辊上安装有所述带部，

其中，所述抽吸部设置在由所述第一辊转动的所述带部的下方以及已经过所述第二辊的带的上方。

13.根据权利要求11或12所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括安装在所述抽吸部中的刷。

14.根据权利要求13所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述抽吸部具有与所述带部的所述带相同的宽度。

15.根据权利要求14所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当所述第一辊和所述第二辊转动时，所述抽吸装置运行。

16.根据权利要求14所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当所述第一辊和所述第二辊转动时，所述抽吸装置以预定时间间隔运行转。