[发明专利]Fe－Co系靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 200710126640.7 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101067199A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 柳谷彰彦;相川芳和 | 申请（专利权）人： | 山阳特殊制钢株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;B22F3/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于形成软磁性薄膜的Fe－Co系靶材的制造方法。该制造方法包括如下工序：混合Fe∶Co的质量比为8∶2～7∶3的第一原料粉末和Fe∶Co的质量比为2∶8～0∶10的第二原料粉末，以使得Fe∶Co的质量比为8∶2～2∶8，并在1073～1473K的温度下，施加100MPa以上的压力进行成形。在第一原料粉末和第二原料粉末的一个或双方中，添加相对于混合粉末的重量为3～15原子％的选自Nb、Zr、Ta和Hf的组成的群中的至少一种添加元素。这样制造的Fe－Co系靶材具有高密度，且导磁率比历来的都要低。 | ||
| 搜索关键词： | fe co 系靶材 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、Fe-Co系靶材的制造方法，其中，包括如下工序：准备Fe∶Co的质量比为8∶2～7∶3的第一原料粉末、和Fe∶Co的质量比为2∶8～0∶10的第二原料粉末；混合第一原料粉末和第二原料粉末，使得Fe∶Co的质量比为8∶2～2∶8，得到原料粉末；对该混合粉末在1073～1473K的温度下施加100MPa以上的压力进行成形，并且，在第一原料粉末和第二原料粉末的一个或双方中，添加选自Nb、Zr、Ta和Hf构成的群中的至少一种添加元素，该添加元素相对于所述混合粉末的总量合计为3～15原子％。
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