[发明专利]Fe－Co系靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 200710126640.7 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101067199A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 柳谷彰彦;相川芳和 | 申请（专利权）人： | 山阳特殊制钢株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;B22F3/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | fe co 系靶材 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.Fe--Co系靶材的制造方法，其中，包括如下工序：
准备Fe：Co的质量比为8∶2～7∶3的第一原料粉末、和Fe：Co的质量比为2∶8～0∶10的第二原料粉末；
混合第一原料粉末和第二原料粉末，使得Fe：Co的质量比为8∶2～2∶8，得到原料粉末；
对该混合粉末在1073～1473K的温度下施加100MPa以上的压力进行成形，
并且，在第一原料粉末和第二原料粉末的一个或双方中，添加选自Nb、Zr、Ta和Hf构成的群中的至少一种添加元素，该添加元素相对于所述混合粉末的总量合计为3～15原子％。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述添加元素在所述混合前，以相对于第一原料粉末的总量合计为1原子％以上添加到第一原料粉末中。
3.如权利要求1或2所述的方法，其中，所述添加元素在所述混合前，以相对于第二原料粉末的总量合计为1原子％以上添加到第二原料粉末中。
4.一种Fe--Co系靶材，其中，该Fe--Co系靶材是通过权利要求1所述的方法可以制造的Fe--Co系靶材，该Fe--Co系靶材包括：
85～97原子％的Fe：Co的质量比为8∶2～2∶8的Fe与Co；
3～15原子％的选自Zr、Nb、Ta和Hf构成的群中的至少一种添加元素，
并且，具有10～200的导磁率。
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