[发明专利]具有优良耐折性的电路基板及半导体装置无效
申请号: | 200710126054.2 | 申请日: | 2007-07-06 |
公开(公告)号: | CN101102639A | 公开(公告)日: | 2008-01-09 |
发明(设计)人: | 山县诚;栗原宏明;安井直哉;岩田纪明 | 申请(专利权)人: | 三井金属矿业株式会社 |
主分类号: | H05K1/02 | 分类号: | H05K1/02;H01L23/00 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱梅;徐志明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种具有良好耐折性的电路基板,在绝缘薄膜表面上形成含有铜的布线图,该布线图上形成有绝缘树脂涂敷层并露出端子部分,所述电路基板,具有由下述(A)、(B)、(C)及(D)所构成的组中所选的任一种构造:(A)使用EBSP测定的铜粒子平均结晶粒子径在0.65~0.85μm范围内、小于0.1μm的铜结晶粒子所占容积比率小于等于1%,并且在引线的长度方向取向[100]的铜结晶粒子的含量在10~20容积%的范围内;(B)上述绝缘薄膜由抗拉强度在450~600MPa范围内,杨氏模量在8500~9500MPa范围内的聚酰亚胺薄膜形成;(C)上述绝缘薄膜是厚度10~30μm的聚酰亚胺薄膜;(D)上述绝缘树脂涂敷层具有相对于绝缘薄膜厚度的50~150%的厚度。 | ||
搜索关键词: | 具有 优良 耐折性 路基 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1、一种具有优良耐折性的电路基板,在绝缘薄膜的至少一个面上形成含有铜的布线图,该布线图上形成有绝缘树脂涂敷层并露出布线图的端子部分,所述电路基板,其特征为,该电路基板具有由下述(A)、(B)、(C)及(D)所构成的组中的至少一种构造:(A)使用反向散射电子衍射分析装置(EBSP)测定的,构成上述布线图的铜粒子平均结晶粒子径在0.65~0.85μm的范围内,构成上述布线图的铜粒子平均结晶粒子中,小于0.1μm的铜结晶粒子所占容积比率小于等于1%,并且使用EBSP测定的,该布线图引线的长度方向取向[100]的铜结晶粒子的含量在10~20容积%的范围内;(B)上述绝缘薄膜由抗拉强度在450~600MPa范围内,杨氏模量在8500~9500MPa范围内的聚酰亚胺薄膜形成;(C)上述绝缘薄膜由厚度10~30μm的聚酰亚胺薄膜形成;(D)在上述布线图上形成的绝缘树脂涂敷层,具有绝缘薄膜厚度的50~150%的厚度。
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