[发明专利]基板检查用的基准值设定方法、利用该方法的装置及程序

摘要

本发明可容易地设定判定基准值，该判定基准值可将中间工序的检查结果和最终工序的检查结果间产生不一致的频度控制在允许值附近。对于最终焊接工序的检查设备的判定结果为“合格”的基板及“不良”的基板，分别作成部件位置偏差检查所计测的位置偏差量的直方图。并基于任一直方图，对决定“合格”判定范围的判定基准值进行初始设定后，在变更该判定基准值的同时，对计测值重复求和处理，该计测值包含在对最终检查结果为“不良”的基板的“合格”判定范围内，或包含在对最终检查结果为“合格”的基板的“不良”判定范围内。然后，将该总和相对于基板总数的比率成为与用户所指定的漏检率或者错检率对应的值时的判定基准值，选择为最佳的值。

主权项

1.一种基板检查用的基准值设定方法，针对经过制造部件安装基板的中间工序的基板作为检查对象的检查设定基准值，该基准值用于判定对于检查对象部位的计测值是否合格，其特征在于，对于相同种类的多张基板，在分别执行中间工序之后分别独立地计测各检查对象部位，并在执行最终工序之后判定各部件的安装状态是否合格，然后将各计测结果以及判定结果保存在存储器中，对于在上述多张基板之间使用共通基准值的检查对象部位，在对上述基准值执行初始设定的处理之后，将最终工序之后的判定处理中判定为“合格”或“不良”的基板作为对象，在变更基准值的同时重复执行以下处理，即，计算计测值包含在上述基准值所表示的“不良”或者“合格”的范围内的基板的数目，将在以下情况下的基准值选择为最佳基准值，在该情况下，计算出的基板的数目相对于在上述存储器中存储有计测结果以及判定结果的基板的总数的比率，与预先设定的产生判定不一致的频度的允许值对应。