[发明专利]基板检查用的基准值设定方法、利用该方法的装置及程序

权利要求书

1.一种基板检查用的基准值设定方法，针对经过制造部件安装基板的中间工序的基板作为检查对象的检查设定基准值，该基准值用于判定对于检查对象部位的计测值是否合格，其特征在于，

对于相同种类的多张基板，在分别执行中间工序之后分别独立地计测各检查对象部位，并在执行最终工序之后判定各部件的安装状态是否合格，然后将各计测结果以及判定结果保存在存储器中，

对于在上述多张基板之间使用共通基准值的检查对象部位，在对上述基准值执行初始设定的处理之后，将最终工序之后的判定处理中判定为“合格”或“不良”的基板作为对象，在变更基准值的同时重复执行以下处理，即，计算计测值包含在上述基准值所表示的“不良”或者“合格”的范围内的基板的数目，

将在以下情况下的基准值选择为最佳基准值，在该情况下，计算出的基板的数目相对于在上述存储器中存储有计测结果以及判定结果的基板的总数的比率，与预先设定的产生判定不一致的频度的允许值对应。

2.如权利要求1所述的基板检查用的基准值设定方法，其特征在于，

在对上述基准值执行初始设定的处理中，对于在上述多个基板之间使用共通基准值的检查对象部位，将最终工序之后的判定处理中判定结果为“合格”或者“不良”的基板作为对象，从存储器中读取在中间工序之后的计测处理中得到的各计测值，并将这些计测值所分布的范围和未分布的范围之间的边界位置所对应的计测值作为基准值的初始值。

3.如权利要求1或2所述的基板检查用的基准值设定方法，其特征在于，

在对上述基准值执行初始设定的处理之后，将最终工序之后的判定处理中上述检查对象部位被判定为“合格”的基板作为对象，计算计测值包含在基准值所表示的“不良”的范围内的基板的数目。

4.如权利要求1或2所述的基板检查用的基准值设定方法，其特征在于，

在对上述基准值执行初始设定的处理之后，将最终工序之后的判定处理中上述检查对象部位被判定为“不良”的基板作为对象，计算计测值包含在基准值所表示的“合格”的范围内的基板的数目。

5.一种基板检查用的基准值设定装置，针对经过制造部件安装基板的中间工序的基板作为检查对象的检查设定基准值，该基准值用于判定对于检查对象部位的计测值是否合格，其特征在于，具有：

第一输入单元，其从设置在上述中间工序中的检查设备至少接收针对各检查对象部位所输入的计测结果，并从设置在最终工序中的检查设备接收所输入的检查结果；

存储器，其用于存储从上述第一输入单元所输入的信息；

第二输入单元，其针对基于上述中间工序中的计测结果而得到的检查结果和最终工序的检查结果之间产生不一致的频度，接收所输入的表示允许值的信息；

基准值设定单元，其利用存储在上述存储器中的信息以及第二输入单元所接收的允许值，对于相同种类的多张基板之间使用共通基准值的检查对象部位设定与该部位对应的基准值；

输出单元，其将上述基准值设定单元设定的基准值输出到设置在上述中间工序中的检查设备，

上述基准值设定单元对于处理对象的检查对象部位，在对上述基准值进行初始设定之后，将设置在最终工序中的检查设备中判定为“合格”或者“不良”的基板作为对象，在变更基准值的同时重复执行以下处理，即，计算计测值包含在上述基准值所表示的“不良”或者“合格”的范围内的基板的数目，并将在以下情况下的基准值选择为最佳基准值，在该情况下，所计算出的基板的数目相对于在上述存储器中存储有计测结果以及判定结果的基板的总数的比率，与上述允许值对应。