[发明专利]平台装置无效
| 申请号： | 200710110053.9 | 申请日： | 2007-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101093814A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 原田真;小原达也;小林雄二 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;B23Q1/30;G02F1/1333;G12B5/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种平台装置，可以确保平台位置检测精度。平台装置(10)的Y平台(18)具有：在X方向横架在引导部(14A、14B)上方的横架部(30)和与横架部(30)的两端结合且沿引导部(14A、14B)移动的一对滑块(32A、32B)。滑块具有与引导部(14A、14B)的左右侧面相对的侧衬垫(34、35)和在Z方向上正对的上衬垫(36)。在引导部(14)的左右侧面上，设有一对直线检测元件(22A、22B)。第1直线检测元件(22A)测定相对于引导部(14A)的左侧面的Y平台(18)的移动位置。第2直线检测元件(22B)测定相对于引导部(14A)的右侧面的Y平台(18)的移动位置。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 装置 | ||
【主权项】：
1.一种平台装置，其特征在于，具备：支承于固定在地面的台架上且平行配置的一对引导部；在这一对引导部的延伸方向移动的平台；驱动上述平台的一对直线电动机；第1直线检测元件，测定上述平台相对于上述一对引导部中的一个侧面的移动位置；第2直线检测元件，测定上述平台相对于与配置了该第1直线检测元件的上述引导部的侧面平行的相反侧的侧面的移动位置；计算装置，根据第1直线检测元件的测定值和第2直线检测元件的测定值计算上述一对直线电动机的控制值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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