[发明专利]平台装置

说明书

技术领域

本发明涉及平台装置，特别是涉及对应于伴随工件的大型化、滑块的间隔及移动距离增大这样结构的平台装置。

背景技术

例如，平台装置形成下面的结构，引导平台移动的平台导向机构具有：固定在上述平台上的由石材构成的一对导轨，同时在沿导轨移动的平台的滑块上，相对于导轨的导向面，隔开几μ到十几μ的间隙，设置对置的静压轴承衬垫，从静压轴承衬垫吹向导轨面的空气压力将滑块以浮起的状态移动。

对于这样的平台装置，伴随被提供的作为工件的基板的大型化，装置整体在大型化，与此相应，平台的移动距离也在被延长。

在现有的机械加工技术中，例如，若全长是现有的1m左右的导轨，能够以数μ的精度加工。但是，随着平台移动距离的延长，若导轨的全长增加到2m以上，则难以精密的计测，由于跨越导轨全长计测直线度时的计测误差也增大了，因此，要制造达到要求的精度的直线度的导轨困难起来。而且，由热膨胀引起的尺度变化影响着导轨的变形和扭曲。

在一对导轨上，设有用于检测平台的移动位置的直线检测元件(linerscale)，如果安装在平台一测的传感器(例如，光断路器)沿直线检测元件移动，则输出检测信号(脉冲信号)。然后，通过统计来自直线检测元件的传感器的信号，计算移动的距离，求出移动位置。

另外，为了保证平台直线行进的精度及由直线检测元件检测的位置检测精度，导轨的全长越长，需要越高精度地控制导轨平行度。

为了使这样的由一对导轨的直线度和平行度的偏差产生的影响减少，例如，具有这样的构造：使板簧夹在沿一对导轨移动的一对滑块和横梁之间，该横梁连接在一对滑块之间，通过这样的连接，减少施加到导轨上的负载。(例如：参照专利文献1)

专利文献1：特开2000-214280号公报。

但是，在由上述的专利文献1公示的平台装置中，只能减少施加到导轨上的负载有一定限度。例如，在平台的移动距离延长到2-3m的结构中，仅仅靠上述板簧的弹性变形量，难以确保平台的静止及运动的稳定性。

而且，在由于平台装置的大型化不能确保平台的上面精度时，或形成导轨不是在平台上而是支承在别的框架上的结构时，难以得到一对导轨的平行度。

因此，如果不能高精度的控制一对导轨的平面度，则检测平台的移动位置的一对直线检测元件的检测精度就会降低，从而可能导致平台的移动控制的精度降低。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供解决上述问题的的平台装置。

为了解决上述问题，本发明具有如下的措施。

为了解决上述问题，本发明的平台装置具备：支承于固定在地面的台架上且平行配置的一对引导部、在这一对引导部的长度方向移动的平台、驱动上述平台的一对直线电动机、测定对于上述一对引导部中的一个侧面的上述平台的移动位置的第1直线检测元件、测定对于与配置了该第1直线检测元件的上述引导部的侧面平行的相反侧的侧面的上述平台的移动位置的第2直线检测元件以及根据上述第1直线检测元件的测定值和上述第2直线检测元件的测定值计算上述一对直线电动机的控制值的计算装置。

上述平台理想的情况是具有：由上述一对引导部引导的一对滑块和横架在这一对滑块间的横梁部件。

在配置了上述第1、第2直线检测元件的一个引导部上移动的一个滑块最好具有：与上述引导部的两侧面相对的第1、第2侧衬垫和与该引导部的上面相对的上衬垫；而在上述另一个引导部上移动的另一个滑块最好具有：与上述另一个引导部的上面相对的上衬垫。

上述第1、第2侧衬垫最好分别配置在上述第1、第2直线检测元件的近旁。

上述一对引导部中配置了上述第1、第2直线检测元件的引导部最好比上述另一个引导部的宽度宽。

上述计算装置最好是：根据上述第1直线检测元件的测定值和上述第2直线检测元件的测定值的差，计算上述一对滑块的偏移方向的偏移角，并且计算上述一对直线电动机的控制值以使上述偏移方向的偏移角为零。

发明效果

根据本发明，由于在一对引导部中的一个引导部的一个侧面设置了第1直线检测元件，在同一引导部的另一侧面设置了第2直线检测元件，因此，即使在一对引导部的平面度的精度降低的情况下，也不影响一对直线检测元件的检测精度，能够正确地检测出平台的移动位置。