[发明专利]平台装置

权利要求书

1.一种平台装置，其特征在于，具备：

支承于固定在地面的台架上且平行配置的一对引导部；

在这一对引导部的延伸方向移动的平台；

驱动上述平台的一对直线电动机；

第1直线检测元件，测定上述平台相对于上述一对引导部中的一个侧面的移动位置；

第2直线检测元件，测定上述平台相对于与配置了该第1直线检测元件的上述引导部的侧面平行的相反侧的侧面的移动位置；

计算装置，根据第1直线检测元件的测定值和第2直线检测元件的测定值计算上述一对直线电动机的控制值。

2.如权利要求1所述的平台装置，其特征在于，所述平台具有由所述一对引导部引导的一对滑块和横架在这一对滑块间的横梁部件。

3.如权利要求2所述的平台装置，其特征在于：

在配置了所述第1、第2直线检测元件的一个引导部上移动的一个滑块具有：与所述引导部的两侧面相对的第1、第2侧衬垫和与该引导部的上面相对的上衬垫；

在所述另一个引导部上移动的另一个的滑块具有与所述另一个引导部的上面相对的上衬垫。

4.如权利要求3所述的平台装置，其特征在于：

所述第1、第2侧衬垫分别配置在所述第1、第2直线检测元件的近旁。

5.如权利要求1所述的平台装置，其特征在于：

使所述一对引导部中配置了第1、第2直线检测元件的引导部比所述的另一个引导部的宽度宽。

6.如权利要求1所述的平台装置，其特征在于：

所述计算装置根据第1直线检测元件的测定值和第2直线检测元件的测定值的差，计算所述一对滑块的偏移方向的偏移角，并且计算所述一对直线电动机的控制值，使所述偏移方向的偏差角为零。