[发明专利]半导体器件以及半导体器件的制造方法无效
| 申请号: | 200710107360.1 | 申请日: | 2007-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN101154601A | 公开(公告)日: | 2008-04-02 |
| 发明(设计)人: | 闲野义则 | 申请(专利权)人: | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/28;H01L23/488 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;徐谦 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种能以简易且低成本的方式抑制密封树脂的溢出、获得良好的密封质量的半导体器件的制造方法,以及以简易且低成本的方式抑制密封树脂的溢出、并具有良好的密封质量的半导体器件,和降低了热电阻的半导体器件。对于所安装的半导体芯片(20A、20B)的4个端边中至少从端边到与该端边相对的转接板的焊盘(12)的距离最短的端边,向该端边与转接板(10)的间隙填充粘度比液状第2底填料(41)高的液状第1底填料(31),并使其固化,而由第1底填料(30)密封。然后,向除了被第1底填料(30)密封的间隙以外的、半导体芯片与转接板(10)的间隙,填充液状第2底填料(41),并使其固化,而由第2底填料(40)密封。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体器件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件的制造方法,其特征在于,包括:第1工序,准备在芯片安装区域的周围形成了外部端子的安装基板;第2工序,准备具有多个端边的半导体芯片;第3工序,把上述半导体芯片安装在上述安装基板上;第4工序,向上述半导体芯片的上述端边中从该端边到和该端边相对的上述外部端子的距离最短的端边、与上述安装基板的第1间隙的至少一部分,填充第1密封树脂;第5工序,使上述第1密封树脂固化而密封上述第1间隙;第6工序,向除了填充了上述第1密封树脂的上述第1间隙或由上述第1密封树脂密封了的上述第1间隙以外的、上述半导体芯片与上述安装基板的第2间隙,填充第2密封树脂;以及第7工序,使上述第2密封树脂固化而密封上述第2间隙。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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