[发明专利]薄膜晶体管基板及显示器件有效
| 申请号: | 200710103204.8 | 申请日: | 2007-05-10 |
| 公开(公告)号: | CN101083269A | 公开(公告)日: | 2007-12-05 |
| 发明(设计)人: | 川上信之;后藤裕史;日野绫 | 申请(专利权)人: | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L29/786;H01L29/43;G02F1/1362;G02F1/1343 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 提供一种可以省略在薄膜晶体管的半导体层和源电极及漏电极之间形成壁垒金属(无需在薄膜晶体管的半导体层和源电极及漏电极之间形成壁垒金属)的薄膜晶体管基板及显示器件。(1)一种薄膜晶体管基板,具有:薄膜晶体管的半导体层;源电极、漏电极;以及透明导电膜,其中,具有所述源电极及漏电极与所述薄膜晶体管的半导体层直接连接的构造,并且所述源电极及漏电极由含有0.1~6.0原子%的Ni、0.1~1.0原子%的La、0.1~1.5原子%的Si的Al合金薄膜构成,(2)一种设有所述薄膜晶体管基板的显示器件等。 | ||
| 搜索关键词: | 薄膜晶体管 显示 器件 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管基板,其具有:薄膜晶体管的半导体层;源电极、漏电极;和透明导电膜,其特征在于,具有所述源电极及漏电极与所述薄膜晶体管的半导体层直接连接的构造,并且所述源电极及漏电极由含有0.1~6.0原子%的Ni、0.1~1.0原子%的La、0.1~1.5原子%的Si的Al合金薄膜构成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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