[发明专利]显微镜摄像装置及尺寸测量装置有效
| 申请号： | 200710084046.6 | 申请日： | 2007-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101050942A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 伊从洁;野上大 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B21/00;G01C11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在具有多个摄像头的显微镜摄像装置及尺寸测量装置中、在任一个变为异常时能够通过其他摄像头覆盖的系统。提供一种显微镜摄像装置及尺寸测量装置，对于多个摄像装置分别设有退避区域，并且各个摄像头具有能够移动到被测量对象物的测量点的位置的行程，在摄像头为故障或非工作状态的情况下，能够通过其余的摄像头覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | 显微镜 摄像 装置 尺寸 测量 | ||
【主权项】：
1、一种显微镜摄像装置，其特征在于，具备：第1载物台，能够与在被测量对象物上具有多个测量点的平面区域上的相互交叉的第1方向与第2方向中的第1方向平行地移动；N个摄像头，被设置在上述第1载物台上，能够在上述第1载物台上与上述第2方向平行地分别独立地移动，对上述被测量对象物摄像，在上述平面区域上分割后的N个区域内的测量点分别移动，N为2以上的整数；上下移动载物台，使该摄像头分别独立地上下移动；异常检测机构，对于上述N个摄像头分别检测异常；以及控制机构；上述控制机构进行控制，以便在上述异常检测机构检测到异常的情况下，使该摄像头从上述被测量对象物的平面区域退避到退避区域，通过上述检测机构没有检测到异常的摄像头而能够在上述被测量对象物的整个平面区域移动。
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