[发明专利]显微镜摄像装置及尺寸测量装置

权利要求书

1、一种显微镜摄像装置，其特征在于，

具备：第1载物台，能够与在被测量对象物上具有多个测量点的平面区域上的相互交叉的第1方向与第2方向中的第1方向平行地移动；N个摄像头，被设置在上述第1载物台上，能够在上述第1载物台上与上述第2方向平行地分别独立地移动，对上述被测量对象物摄像，在上述平面区域上分割后的N个区域内的测量点分别移动，N为2以上的整数；上下移动载物台，使该摄像头分别独立地上下移动；异常检测机构，对于上述N个摄像头分别检测异常；以及控制机构；

上述控制机构进行控制，以便在上述异常检测机构检测到异常的情况下，使异常的摄像头从上述被测量对象物的平面区域退避到退避区域，通过上述异常检测机构没有检测到异常的摄像头而能够在上述被测量对象物的整个平面区域移动。

2、如权利要求1所述的显微镜摄像装置，其特征在于，

还具备：N个透过照明装置，与上述N个摄像头分别对应；以及透过照明移动载物台，将上述透过照明装置同步移动到上述N个摄像头的上述平面区域上的位置，

上述控制机构，在上述异常检测机构检测到摄像头的异常的情况下，使对应的透过照明装置从上述被测量对象物的平面区域退避到退避区域。

3、如权利要求1所述的显微镜摄像装置，其特征在于，

还具备：N个透过照明装置，与上述N个摄像头分别对应；以及透过照明移动载物台，将上述透过照明装置同步移动到上述N个摄像头的上述平面区域上的位置，

上述异常检测机构还检测上述N个透过照明装置的异常，

上述控制机构进行控制，以便在检测到上述N个透过照明装置的任一个的异常的情况下，使该透过照明装置与对应的摄像头一起退避到上述退避区域，通过与上述异常检测机构没有检测到异常的透过照明装置对应的摄像头而能够在上述被测量对象物的整个平面区域移动。

4、一种尺寸测量装置，其特征在于，

具备：权利要求1所述的显微镜摄像装置；以及N个图像处理部，与上述N个摄像头对应，根据从上述N个摄像头输出的图像信号进行上述被测量对象物的多个测量点的测量，

上述异常检测机构还检测上述N个图像处理部的异常，

上述控制机构，在上述异常检测机构检测到上述N个图像处理部的任一个的异常的情况下，使与检测到上述异常的图像处理部对应的摄像头退避到上述退避区域。

5、一种尺寸测量装置，其特征在于，

具备：权利要求2或3任一项所述的显微镜摄像装置；以及N个图像处理部，与上述N个摄像头对应，根据从上述N个摄像头输出的图像信号进行上述被测量对象物的多个测量点的测量，

上述异常检测机构还检测上述N个图像处理部的异常，

上述控制机构，在上述异常检测机构检测到上述N个图像处理部的任一个的异常的情况下，使与检测到上述异常的图像处理部对应的摄像头和透过照明装置退避到上述退避区域。