[发明专利]修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法在审
| 申请号： | 200710063961.7 | 申请日： | 2007-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101246830A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 邵寅亮 | 申请（专利权）人： | 北京巨数数字技术开发有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R31/28;G01R31/26;G01R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100085北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法，其包括以下步骤：在该半导体的电压输入引脚上加测试工作电压VCC，信号输入引脚输入测试控制信号；测量信号输出引脚实际输出电流Iout；测量该外接电阻引脚到地的电压Vref及该接地引脚到地的电压VGND；用所测电压Vref或其平均值和VGND对实际输出电流Iout进行修正，从而得到测试修正后电流I修正的值。因此，在不需测出接触电阻的阻值的情况下，可有效解决因接触电阻而导致的信号输出引脚输出测试电流偏离实际值的问题，提高测试的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 修正 半导体 引脚 测试 电压 校正 输出 电流 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法，该半导体包括电压输入引脚、信号输入引脚、外接电阻引脚、信号输出引脚和接地引脚，该外接电阻引脚通过参考电阻Rext接地，该方法包括以下步骤：在该半导体的电压输入引脚上加测试工作电压VCC，信号输入引脚输入测试控制信号；测量信号输出引脚实际输出电流I′out；其特征在于：该方法还包括测量该外接电阻引脚到地的电压V′ref及该接地引脚到地的电压VGND；用所测电压V′ref和VGND对实际输出电流I′out进行修正，修正公式为：![]()
根据该修正公式得到测试修正后电流I修正的值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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