[发明专利]修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法在审
| 申请号: | 200710063961.7 | 申请日: | 2007-02-15 |
| 公开(公告)号: | CN101246830A | 公开(公告)日: | 2008-08-20 |
| 发明(设计)人: | 邵寅亮 | 申请(专利权)人: | 北京巨数数字技术开发有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/28;G01R31/26;G01R31/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100085北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 修正 半导体 引脚 测试 电压 校正 输出 电流 方法 | ||
1. 一种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法,该半导体包括电压输入引脚、信号输入引脚、外接电阻引脚、信号输出引脚和接地引脚,该外接电阻引脚通过参考电阻Rext接地,该方法包括以下步骤:
在该半导体的电压输入引脚上加测试工作电压VCC,信号输入引脚输入测试控制信号;
测量信号输出引脚实际输出电流I′out;
其特征在于:该方法还包括测量该外接电阻引脚到地的电压V′ref及该接地引脚到地的电压VGND;
用所测电压V′ref和VGND对实际输出电流I′out进行修正,修正公式为:
根据该修正公式得到测试修正后电流I修正的值。
2. 一种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法,该半导体包括电压输入引脚、信号输入引脚、外接电阻引脚、信号输出引脚和接地引脚,该外接电阻引脚通过参考电阻Rext接地,该方法包括以下步骤:
在该半导体的电压输入引脚上加测试工作电压VCC,信号输入引脚输入测试控制信号;
测量信号输出引脚实际输出电流I′out;
其特征在于:该方法还包括测量该外接电阻引脚到地的电压V′ref(n);
计算出该测量电压V′ref(n)经过n次测量的平均值:
测量该接地引脚到地的电压VGND;
用测得的电压VGND及计算出的电压V′ref(n)的平均值V′ref(AVG)对实际输出电流I′out进行修正,修正公式为:
根据该修正公式得出测试修正后的输出电流I修正。
3. 如权利要求1或2所述的种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法,其特征在于:所述半导体为芯片或晶圆。
4. 如权利要求1或2所述的种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法,其特征在于:所述参考电阻Rext可以是可变电阻,用来控制输出电流的大小。
5. 如权利要求1或2所述的种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法,其特征在于:所述测试控制信号包括时钟信号、串行数据信号、数据选通信号及使能控制信号。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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