[发明专利]固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法有效
| 申请号： | 200710046739.6 | 申请日： | 2007-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101165006A | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 陈健;黄政仁;刘学建 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C04B41/91 | 分类号： | C04B41/91;C04B35/565 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 20005*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法，属于表面处理技术领域，包括下述步骤，将装满NaOH的Ni坩埚放入马弗炉或者可控温设备中加热升温至550℃以上，保持该温度；或直接将碳化硅样品放入装满NaOH的Ni坩埚中直接加热，浸泡时间为30秒～20分钟，腐蚀后样品用稀盐酸清洗，然后去离子水清洗后干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结 碳化硅 陶瓷 表面 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
1.固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法，包括下述步骤：(1)将装满NaOH的Ni坩埚放入马弗炉或者可控温设备中加热，升温至550℃以上，保持该温度；(2)快速取出Ni坩埚，将已经抛光好的碳化硅样品放入Ni坩埚中，浸泡时间为30秒～20分钟。(3)腐蚀后样品用稀盐酸清洗，然后去离子水清洗后干燥。
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