[发明专利]固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法有效
申请号: | 200710046739.6 | 申请日: | 2007-09-30 |
公开(公告)号: | CN101165006A | 公开(公告)日: | 2008-04-23 |
发明(设计)人: | 陈健;黄政仁;刘学建 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C04B41/91 | 分类号: | C04B41/91;C04B35/565 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 20005*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 烧结 碳化硅 陶瓷 表面 腐蚀 方法 | ||
1.固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法,包括下述步骤:
(1)将装满NaOH的Ni坩埚放入马弗炉或者可控温设备中加热,升温至550℃以上,保持该温度;
(2)快速取出Ni坩埚,将已经抛光好的碳化硅样品放入Ni坩埚中,浸泡时间为30秒~20分钟。
(3)腐蚀后样品用稀盐酸清洗,然后去离子水清洗后干燥。
2.固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法,包括下述步骤:
(1)直接将碳化硅样品放入装满NaOH的Ni坩埚中直接加热到550℃以上,保温时间为30秒~20分钟;
(2)腐蚀后样品用用稀盐酸清洗并用去离子水清洗后干燥。
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