[发明专利]干燥装置无效
| 申请号： | 200710045031.9 | 申请日： | 2007-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN101368786A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张文锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F26B3/06 | 分类号： | F26B3/06;F26B11/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种干燥装置，包括：旋转台、连接所述旋转台位于旋转台上方用于放置晶圆的晶圆架，还包括与所述晶圆架相对，用于向晶圆吹气的干燥辅助装置。本发明干燥装置由于解决了现有技术晶圆干燥后表面残留水份并且干燥时间长的问题，因而提高了晶圆干燥的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 | ||
【主权项】：
1.一种干燥装置，包括：旋转台；连接所述旋转台并位于旋转台上方，用于放置晶圆的晶圆架，其特征在于，还包括与所述晶圆架相对，用于向所述晶圆吹气的干燥辅助装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710045031.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：锂离子二次电池系统的冷却结构
- 下一篇：鸟类端粒酶反转录酶
