[发明专利]干燥装置

权利要求书

1.一种干燥装置，包括：

旋转台；

连接所述旋转台并位于旋转台上方，用于放置晶圆的晶圆架，

其特征在于，还包括与所述晶圆架相对，用于向所述晶圆吹气的干燥辅助装置。

2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥辅助装置包括气体供应装置以及连接气体供应装置并位于晶圆架上方的气体释出装置，所述气体供应装置和气体释出装置通过传输管道连接。

3.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥辅助装置包括气体供应装置、连接气体供应装置的加热装置以及连接加热装置并位于晶圆架上方的气体释出装置，所述气体供应装置、加热装置和气体释出装置通过传输管道连接。

4.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥辅助装置包括气体供应装置、连接气体供应装置的过滤器以及连接过滤器位于晶圆架上方的气体释出装置，所述气体供应装置、过滤器、气体释出装置通过传输管道连接。

5.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥辅助装置包括气体供应装置、连接气体供应装置的过滤器、连接过滤器的加热装置、连接加热装置并位于晶圆架上方的气体释出装置，所述气体供应装置、过滤器、加热装置、气体释出装置通过传输管道连接。

6.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥辅助装置包括气体供应装置、连接气体供应装置的加热装置、连接加热装置的过滤器、连接过滤器并位于晶圆架上方的气体释出装置，所述气体供应装置、加热装置、过滤器、气体释出装置通过传输管道连接。

7.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥辅助装置包括气体供应装置、连接气体供应装置的第一过滤器、连接第一过滤器的加热装置、连接加热装置的第二过滤器、连接第二过滤器并位于晶圆架上方的气体释出装置，所述气体供应装置、第一过滤器、加热装置、第二过滤器和气体释出装置通过传输管道连接。

8.如权利要求2至7任一项所述的干燥装置，其特征在于，所述气体释出装置包括用于向晶圆表面吹气的喷枪、连通传输管道并向喷枪提供气体的传输软管、用于固定喷枪的悬架、用于带动悬架运动的马达，其中所述喷枪位于晶圆上方。

9.如权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述喷枪的喷口指向晶圆中心。

10.如权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述喷枪的喷口相对于晶圆的角度为30至45度。