[发明专利]旋涂温控装置及方法在审
| 申请号： | 200710043390.0 | 申请日： | 2007-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN101202071A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 陈峥;傅卫玲 | 申请（专利权）人： | 上海拓引数码技术有限公司;河南凯瑞数码有限公司 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;B29D17/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 吴林松 |
| 地址： | 200234上海市桂林*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及制作单面双层可记录DVD盘片L1层的旋涂温控装置及方法。所述旋涂温控装置可有效控制在制作单面双层可记录DVD盘片L1层时在已金属化待旋涂基板上的旋涂温度，从而控制液态可记录介质在已金属化待旋涂基板上的涂膜厚度，解决在制作单面双层可记录DVD盘片L1层涂膜工艺稳定性难以控制的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 温控 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种旋涂温控装置，其包括：适于在转动的同时夹持已金属化待旋涂基板的旋涂机构；已金属化待旋涂基板供给/移除机构，当已金属化待旋涂基板在所述旋涂机构内转动时，该供给/移除机构给已金属化待旋涂基板供应一覆盖所述基板中心及环绕所述中心的一部分基板，并在所述基板已经完成转动后，该供给/移除机构将所述已金属化待旋涂基板移离；分配器机构，当所述已金属化待旋涂基板在所述旋涂机构内保持并转动时，所述分配器机构给所述已金属化待旋涂基板的上表面供应液态可记录介质材料；其特征在于该旋涂温控装置包括：温控装置系统，当已金属化待旋涂基板置于旋涂机构上，在所述旋涂机构内转动时所述温控装置系统开始同步运行，对所述已金属化待旋涂基板进行温控调节。
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