[发明专利]旋涂温控装置及方法

权利要求书

1.一种旋涂温控装置，其包括：

适于在转动的同时夹持已金属化待旋涂基板的旋涂机构；

已金属化待旋涂基板供给/移除机构，当已金属化待旋涂基板在所述旋涂机构内转动时，该供给/移除机构给已金属化待旋涂基板供应一覆盖所述基板中心及环绕所述中心的一部分基板，并在所述基板已经完成转动后，该供给/移除机构将所述已金属化待旋涂基板移离；

分配器机构，当所述已金属化待旋涂基板在所述旋涂机构内保持并转动时，所述分配器机构给所述已金属化待旋涂基板的上表面供应液态可记录介质材料；

其特征在于该旋涂温控装置包括：

温控装置系统，当已金属化待旋涂基板置于旋涂机构上，在所述旋涂机构内转动时所述温控装置系统开始同步运行，对所述已金属化待旋涂基板进行温控调节。

2.根据权利要求1所述的旋涂温控装置，其特征在于，所述温控装置系统利用对所述已金属化待旋涂基板下表面以流动气体为载体进行热量交换从而实现温度控制。

3.根据权利要求1或2所述的旋涂温控装置，其特征在于温控装置系统包括：送风部件、回风部件、温控显示部件、温度设置部件、调温部件；其中送风部件置于旋涂机构下部，与旋涂机构置于同心圆内；温控显示部件设置于已金属化待旋涂基板下方并在冷却空气出口上方，与已金属化待旋涂基板不接触。

4.根据权利要求3所述旋涂温控装置，其特征在于温控显示部件跟踪及显示气体的温度的精度范围在±1度。

5.根据权利要求3所述旋涂温控装置，其特征在于温度设置部件，在所述液态可记录介质材料固化温度范围内设定温度，并将指令转送到用于送风部件及调温部件。

6.根据权利要求3或5所述旋涂温控装置，其特征在于温控显示部件、温度设置部件中还设置带有湿度显示和湿度控制功能。

7.根据权利要求6所述旋涂温控装置，其特征在于带有湿度显示和湿度控制功能的温控显示部件、温度设置部件控制已金属化待旋涂基板的相对湿度在20％～40％范围之中，控制湿度的精度在±3％。

8.一种旋涂温控方法，其特征在于：

(1)检测已金属化待旋涂基板转动发出信号，启动温控装置系统；

(2)温控装置系统的送风部件对已金属化待旋涂基板送风；

(3)温控装置系统的温控显示部件、温度控制部件和调温部件协同控制使得送风温度达到目标值；

(4)检测已金属化待旋涂基板停止发出信号，关闭温控装置系统。