[发明专利]单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机

摘要

单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机，属化学蚀刻技术和清洗技术领域。其特点是除了包含有水、酸、碱参于蚀刻和洗净外，并有超声波参与蚀刻和清洗过程；有以下操作程序完成蚀刻和清洗：①超声波预洗、预热，②超声波去损伤层，③超声波制绒处理，④超声波漂洗，⑤酸洗中和，⑥超声波漂洗，⑦切水，⑧热焓干燥。实施本发明后的积极效果是：由于采用超声波参与蚀刻和清洗过程后，制绒液能均匀地与硅片反应，表面形成相近的粗糙程度，出现良好的棱锥图案；也能使碱性溶液中存在的钾、钠离子去除干净，延长硅片寿命；减少环境污染，大量节约能耗和水资源，是一个很实用的好发明。

主权项

1，单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法，包含有水、酸、碱参与蚀刻和洗净，其特征是：并有超声波参与蚀刻和清洗过程；由以下操作程序完成蚀刻、清洗、干燥：①超声波预洗、预热：用水的清洗液清除硅片上的切割屑，冷却液等杂物，并将常温的硅片在清洗液中加热至40～50℃；②超声波去损伤层：将硅片浸泡在液温为80～90℃、5％的NaOH的溶液中，浸泡5分钟，由超声波的空化气泡，均匀液体质量浓度，剥离损伤层；③超声波制绒处理：将硅片先后浸泡在80～90℃，2-5％的NaOH，5-10％的异丙醇和余量为纯水的混合液4个槽的制绒液中，各浸泡5分钟，并置入超声波；④超声波漂洗：硅片从制绒液中取出，放入超纯水中，并置入超声波；⑤超声波中和：水槽放置超纯水，并添加纯净的柠檬酸，添加量约为万分之六重量比，使PH值在5-6之间，当硅片进入酸性液体内，置入超声波；⑥超声波漂洗：本工序为逐级高置的3个槽，均流入超纯水，纯水从后道工位向前道工位由高位槽逐级向低位槽溢流；⑦切水：俗称脱水，切水为2个工位，本工位槽体内放置碳氢溶剂，硅片浸入槽液，开启排水阀，排出脱出的下沉的水；⑧热焓干燥：槽体上部安装气动门；槽体外部配置3台风机，一台送热风、一台送冷风、另外一台抽风，热风机和冷风机交叉工作，所有送风机吸入的空气都经过100级过滤。