[发明专利]半导体群集的统计工艺控制系统与方法无效
| 申请号： | 200710004754.4 | 申请日： | 2007-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101236418A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 何煜文;郑炜缙 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体群集的统计工艺控制方法。藉由一第一晶片厂的一第一制造执行系统对一晶片批量执行工艺与量测操作，并且将工艺与量测数据储存在该第一晶片厂的一第一统计工艺控制数据库中。藉由一第一代理服务器判断是否自该第一制造执行系统收到一跨厂要求。若收到该跨厂要求，则藉由该第一代理服务器将该晶片批量的线上统计工艺信息与该第一统计工艺控制数据库中的品管政策同时传送到一第二晶片厂的一第二统计工艺控制数据库。将该晶片批量传送到该第二晶片厂，以一第二制造执行系统根据该品管政策对该晶片批量执行工艺处理。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 群集 统计 工艺 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种半导体群集的统计工艺控制方法，包括下列步骤：藉由一第一晶片厂的一第一制造执行系统对一晶片批量执行工艺与量测操作；将工艺与量测数据储存在该第一晶片厂的一第一统计工艺控制数据库中；藉由一第一代理服务器判断是否自该第一制造执行系统收到一跨厂要求；若收到该跨厂要求，则藉由该第一代理服务器将该晶片批量的线上统计工艺信息与该第一统计工艺控制数据库中的品管政策同时传送到一第二晶片厂的一第二统计工艺控制数据库；以及将该晶片批量传送到该第二晶片厂，以一第二制造执行系统根据该品管政策对该晶片批量执行工艺处理。
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