[发明专利]电子元件测试装置无效
| 申请号： | 200680055827.6 | 申请日： | 2006-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101512357A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 岛田健一;山下和之 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 高占元 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 电子元件测试装置设有将包围推进器129及插座50的空间密闭的箱体121、能够将箱体121内存在的流体升温或降温的热交换器122、使流体循环的风扇123以及将流体从热交换器122直接引导到测定位置900近傍的通道126，而且，风扇123将经由通道126引导到测定位置900的流体回收。 | ||
| 搜索关键词： | 电子元件 测试 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种电子元件测试装置，可通过按压部件将所述被测电子元件按压到测试头的接触部上以进行被测电子元件的测试，所述电子元件测试装置具备：密闭包围所述按压部件和所述接触部的空间的箱室；可使所述箱室内存在的流体升温或降温的温度调整部件；使所述流体在所述箱室内循环的循环部件；以及将所述流体从所述温度调整部件直接引导到测试时所述被测电子元件所在的测定位置的近傍的引导部件，所述循环部件回收经由所述引导部件被引导到所述测定位置的近傍的所述流体。
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