[发明专利]放射线检测单元以及放射线检查装置无效
申请号: | 200680045965.6 | 申请日: | 2006-12-04 |
公开(公告)号: | CN101326449A | 公开(公告)日: | 2008-12-17 |
发明(设计)人: | 浮田明宏 | 申请(专利权)人: | 住友重机械工业株式会社 |
主分类号: | G01T1/24 | 分类号: | G01T1/24;H01L31/09;G01T1/161 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 徐冰冰;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种放射线检测单元以及放射线检查装置,将多个检测基板(22)层叠并进行固定,该检测基板具有布线基板(24)、粘合于该布线基板(24)的上表面并对放射线进行检测的半导体检测元件(25)、和粘合在该布线基板(24)的上表面的隔板(28)。各个检测基板(22)被配置成半导体检测元件(25)和隔板(28)具有规定的位置关系。而且,检测基板(22)彼此以各自的隔板(28)彼此在X-Y平面相互一致的方式被层叠,并由固定部件(23a、23b)固定。在隔板(28)上,设置有阶梯部(28e),以便布线基板(24)的下表面不与其下的隔板(28)接触,且上下方向上,隔板(28)彼此被定位成相互接触。 | ||
搜索关键词: | 放射线 检测 单元 以及 检查 装置 | ||
【主权项】:
1.一种放射线检测单元,其特征在于,具备:多个检测基板,该多个检测基板具有布线基板、粘合在该布线基板的上表面并对放射线进行检测的半导体检测元件、和粘合在该布线基板的上表面的隔板;以及,固定单元,该固定单元将层叠有上述多个检测基板的层叠体固定;上述多个检测基板的各自的半导体检测元件和隔板被以规定的位置关系配置,且该隔板彼此以规定的位置关系层叠。
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