[发明专利]液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法及液体涂布装置有效
| 申请号： | 200680044683.4 | 申请日： | 2006-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101316663A | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 生岛和正 | 申请（专利权）人： | 武藏高科技有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05C5/00;B05C11/00;G02F1/1339 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林;李艳艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法和液体涂布装置。在将从喷嘴排出的液体涂布到工件的液体涂布装置中，将喷嘴与工件之间的间隙调节为期望量的方法包括如下工序，(a)距离测量工序：由与上述喷嘴并列设置的非接触距离传感器，测量从该非接触距离传感器，到检测与上述喷嘴前端接触且具有与喷嘴前端对置的基准面的接触检测传感器的上述基准面为止的距离；(b)喷嘴接触工序：使上述喷嘴前端与上述接触检测传感器的基准面抵接，获得喷嘴位置信息；(c)距离测量工序：在涂布描画开始前，由上述非接触距离传感器测量从该非接触距离传感器到上述工件为止的距离；以及(d)调节工序：根据由上述距离测量工序(a)及上述喷嘴接触工序(b)获得的上述喷嘴与非接触距离传感器之间的相对位置信息和由上述距离测量工序(c)获得的距离，将喷嘴间隙调节为期望量。从而，工件的弯曲和倾斜等的影响小，可获得喷嘴与非接触距离传感器在喷嘴间隙方向上的准确相对位置并准确调节喷嘴间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 装置 喷嘴 间隙 调节 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法，该方法在将从喷嘴排出的液体涂布到工件的液体涂布装置中，将喷嘴与工件之间的间隙调节为期望量，其特征在于，该方法包括如下工序：(a)距离测量工序：由与上述喷嘴并列设置的非接触距离传感器，测量从该非接触距离传感器到接触检测传感器的基准面为止的距离，所述接触检测传感器检测与上述喷嘴前端的接触，且所述基准面与喷嘴前端对置；(b)喷嘴接触工序：使上述喷嘴前端与上述接触检测传感器的基准面抵接，以获得喷嘴位置信息；(c)距离测量工序：在涂布描画开始前，由上述非接触距离传感器测量从该非接触距离传感器到上述工件为止的距离；以及(d)调节工序：根据由上述距离测量工序(a)及上述喷嘴接触工序(b)获得的上述喷嘴与非接触距离传感器之间的相对位置信息和由上述距离测量工序(c)获得的距离，将喷嘴间隙调节为期望量。
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