[发明专利]液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法及液体涂布装置

说明书

关联申请的记载 

本申请是以2005年11月30日申请的日本专利申请2005-345104号作为基础申请而要求优先权的申请。 

技术领域

本发明涉及在液晶显示器和半导体制造等中使用的液体涂布装置，涉及将从该装置的喷嘴排出口到液体涂布面即基板(以下也称为工件。)为止的间隔即喷嘴间隙调节为期望距离的方法及其液体涂布装置。 

背景技术

一般，液晶显示器的显示面板是这样制造的：在玻璃基板上呈框状地涂布密封材料并在其上贴合玻璃基板，在由此形成的空间内填充液晶。 

以往的密封材料涂布装置具有搭载喷嘴的头部和搭载玻璃基板(工件)的工件台，将它们相对移动到预定位置后，从喷嘴将密封材料涂布到工件上，从而可以线涂布成期望的形状。 

这样的密封材料涂布装置中，为了使涂布后的密封材料的形状良好，必须进行调节，以使喷嘴间隙(喷嘴和工件的间隔)为一定。因此，在工件的表面高度不是一定的情况下，通过在头部搭载的非接触距离传感器来测量到工件为止的距离，并调节头部及工件台的高度以使喷嘴间隙成为一定后，涂布密封材料。 

作为该方法，例如，如图11所示，在具有喷嘴的头部搭载非接触距离传感器(激光变位传感器)，通过将从该传感器照射的激光作为来自工件的反射光进行接收，测量从非接触距离传感器到工件为止的距离L，并通过移动头部和工件台而使该值L成为一定，从而将喷嘴间隙调节为一定。 

但是，上述涂布装置中，在当贮存容器内的密封材料变空时、一起 更换喷嘴和贮存容器时、喷嘴堵塞时等必须对喷嘴进行更换或重新安装的情况下，由于喷嘴本身的形状误差、安装喷嘴的安装装置等机械误差、操作员的人为安装误差等，有可能造成喷嘴与非接触距离传感器在喷嘴间隙方向(Z轴方向)上的相对位置偏移。 

因此，即使将由非接触距离传感器测定的值调节成与更换喷嘴前相同，由于喷嘴与非接触距离传感器的相对位置偏移，也无法将喷嘴间隙调节成与更换喷嘴前完全相同，从而无法以期望的形状涂布密封材料，因此，在每次对喷嘴进行更换或重新安装时，必须在考虑喷嘴排出口与非接触距离传感器在Z轴方向的位置偏移的情况下调节喷嘴间隙。 

为了解决上述问题，日本特开平5-15819号公报中提出了以下方法：在工件台上配置测定用工具，用光学式变位计(非接触距离传感器)测量直到喷嘴与该测定用工具接触为止的距离，从而求出喷嘴位置与光学式变位计在Z轴方向上的相对位置，进而调节喷嘴间隙。 

但是，日本特开平5-15819号公报的方法中，在测定用工具的表面存在弯曲等的Z方向误差时，即使使喷嘴排出口与测定用工具抵接并由非接触距离传感器进行距离测定，由于喷嘴接触于测定用工具上的部位与由非接触距离传感器测定的部位在Z轴方向上存在偏移，因此，无法准确获得喷嘴与非接触距离传感器在Z轴方向上的相对位置信息，无法准确调节喷嘴间隙。 

另外，由于喷嘴所接触的部位与由非接触距离传感器所测定的部位分离，因此即使测定用工具稍微倾斜则在Z轴方向上的位置也会发生显著偏移，在这方面以及为了制作高精度的测定用工具而需要大量工时和成本方面都存在问题。 

而且，日本特开平5-15819号公报的方法是这样的方法：在使喷嘴与测定用工具接触时，喷嘴的负荷使得在测定用工具表面发生变形，在发生这样的变形期间由非接触距离传感器进行距离测定的方法，因此，存在还无法准确测定喷嘴与非接触距离传感器在Z轴方向上的相对位置，无法准确调节喷嘴间隙的问题。 

另外，如上所述，若使喷嘴与测定用工具接触，则有损伤喷嘴的前 端而无法进行良好涂布的可能性。 

发明内容

本发明的目的是解决现有技术所存在的上述问题，提出了如下所述的液体涂布装置的喷嘴间隙方法及其液体涂布装置：工件的弯曲和倾斜等的影响小、可获得喷嘴与非接触距离传感器在喷嘴间隙方向上的准确相对位置，并准确调节喷嘴间隙。 

本发明提出在将从喷嘴排出的液体涂布到工件的液体涂布装置中，将喷嘴与工件之间的间隙调节为期望量的方法，该方法包括如下工序： 

(a)距离测量工序：由与上述喷嘴并列设置的非接触距离传感器，测量从该非接触距离传感器到接触检测传感器的基准面为止的距离，所述接触检测传感器检测与上述喷嘴前端的接触，且所述基准面与喷嘴前端对置； 

(b)喷嘴接触工序：使上述喷嘴前端与上述接触检测传感器的基准面抵接，以获得喷嘴位置信息；