[发明专利]液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法及液体涂布装置

权利要求书

1.一种液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法，该方法在将从喷嘴排出 的液体涂布到工件的液体涂布装置中，将喷嘴与工件之间的间隙调节为 期望量，其特征在于，该方法包括如下工序：

(a)距离测量工序：由与上述喷嘴并列设置的非接触距离传感器，测 量从该非接触距离传感器到接触检测传感器的基准面为止的距离，所述 接触检测传感器检测与上述喷嘴前端的接触，且所述基准面与喷嘴前端 对置；

(b)喷嘴接触工序：使上述喷嘴前端与上述接触检测传感器的基准面 抵接，以获得喷嘴位置信息；

(c)距离测量工序：在涂布描画开始前，由上述非接触距离传感器测 量从该非接触距离传感器到上述工件为止的距离；以及

(d)调节工序：根据由上述距离测量工序(a)及上述喷嘴接触工序(b)获 得的上述喷嘴与非接触距离传感器之间的相对位置信息和由上述距离测 量工序(c)获得的距离，将喷嘴间隙调节为期望量。

2.根据权利要求1所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法，其特征 在于，

上述距离测量工序(a)中，包含将上述接触检测传感器的基准面与上 述非接触距离传感器之间的距离调节为期望距离的传感器间距离调节工 序。

3.根据权利要求2所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法，其特征 在于，

根据由上述非接触距离传感器测量从该非接触距离传感器到上述接 触检测传感器的基准面为止的距离的结果，对上述接触检测传感器的基 准面与上述非接触距离传感器之间的距离进行调节。

4.根据权利要求2所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法，其特征 在于，

通过由上述非接触距离传感器连续地测量从该非接触距离传感器到 上述接触检测传感器的基准面为止的距离，来调节上述接触检测传感器 的基准面与上述非接触距离传感器之间的距离，直到该距离达到期望值 为止。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节 方法，其特征在于，

上述喷嘴接触工序(b)中获得的喷嘴位置信息是，相对地移动上述喷 嘴和上述接触检测传感器的基准面的移动装置所示的座标值。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节 方法，其特征在于，

上述接触检测传感器的基准面，是通过上述喷嘴前端的接触按压而 移动的移动面。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节 方法，其特征在于，

上述接触检测传感器是具有通过上述喷嘴前端的接触按压而移动的 可动基准面并测量该可动基准面的移动量的测量传感器，上述喷嘴接触 工序(b)包含测量由上述喷嘴前端的接触按压所产生的上述可动基准面的 移动量的工序，在该喷嘴接触工序(b)中获得的上述喷嘴位置信息中，包 含由上述喷嘴前端的接触按压所产生的上述可动基准面的移动量。

8.根据权利要求5所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法，其特征 在于，

上述喷嘴位置信息是，在上述接触检测传感器的基准面被上述喷嘴 前端接触按压而变位后，该按压变位减少，上述接触检测传感器成为检 测不到喷嘴前端进行按压的瞬间或上述基准面的变位成为零的瞬间时上 述移动装置的座标值。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节 方法，其特征在于，

上述相对位置信息是上述喷嘴前端与非接触距离传感器之间的距 离。

10.根据权利要求5所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法，其特 征在于，

上述移动装置是使上述喷嘴沿着垂直方向移动的装置。

11.根据权利要求5所述的液体涂布装置的喷嘴间隙调节方法，其特 征在于，

上述移动装置是使具有上述喷嘴及上述非接触距离传感器的涂布头 部沿着垂直方向移动的装置。