[发明专利]具有纹理表面的流动形成的室组件有效
| 申请号： | 200680033049.0 | 申请日： | 2006-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN101263243A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | S·E·阿布尼;A·韦斯希;J·F·萨莫斯;M·O·施韦策;S·迪克森;J·蒂勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;B21D53/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制造用于基板处理室的组件的方法，其涉及提供一具有内表面及外表面的预型体，及提供一心轴，该心轴具有一纹理表面且其纹理特征图案至少包含突起及凹陷。该预型体组件的内表面和心轴的纹理表面接触，且对预型体的外表面施加一压力。该压力高到足以将该预型体塑性变形而覆盖在心轴的纹理表面，以形成具纹理内表面的组件，其纹理内表面至少包含纹理特征的图案，该纹理特征图案的外型及尺寸是设计成可吸附基板处理中产生的处理残余物。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 纹理 表面 流动 形成 组件 | ||
【主权项】：
1.一种制造用于一基板处理室的一组件的方法，该方法至少包含：(a)提供一具有内表面及外表面的预型体；(b)提供一具纹理表面的心轴，该纹理表面的纹理特征图案至少包含多个循环且交错的突起及凹陷：(c)将该预型体的内表面和该心轴的纹理表面接触；以及(d)施加一压力至该预型体，该压力够高而足以塑性变形该预型体并导致该预型体的内表面在心轴的纹理表面上流动，以形成一具纹理内表面的组件，该纹理内表面包含一纹理特征图案。
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