[发明专利]具有纹理表面的流动形成的室组件

权利要求书

1.一种制造用于一基板处理室的一组件的方法，该方法至少包含：

(a)提供一具有内表面及外表面的预型体；

(b)提供一具纹理表面的心轴，该纹理表面的纹理特征图案至少包含多个循环且交错的突起及凹陷：

(c)将该预型体的内表面和该心轴的纹理表面接触；以及

(d)施加一压力至该预型体，该压力够高而足以塑性变形该预型体并导致该预型体的内表面在心轴的纹理表面上流动，以形成一具纹理内表面的组件，该纹理内表面包含一纹理特征图案。

2.如权利要求1所述的方法，其中上述的(d)步骤包含形成一具纹理内表面的组件，且该纹理内表面欠缺沿着该纹理内表面的长度延伸的线性或螺旋凹陷。

3.如权利要求1所述的方法，其中上述的(b)步骤包含提供一具有交错突起与凹陷的图案的心轴，所述突起与凹陷具有至少一下列特征：

(i)所述突起的高度约介于0.005至0.050英寸；

(ii)所述突起在二分之一高度处的宽度约介于0.007至0.070英寸；

(iii)所述凹陷的深度约介于0.005至0.050英寸；

(iv)所述凹陷在二分之一深度处的宽度约介于0.002至0.130英寸；以及

(v)所述突起及凹陷构成的图案包含一正弦曲线横切面。

4.如权利要求1所述的方法，其中上述的(b)步骤包含提供一心轴，其具有至少一下列特征：

(i)一纹理表面，其包含多个纹理特征，所述纹理特征基本上不具有锐角及锐边；以及

(ii)该心轴至少部份可折迭。

5.如权利要求1所述的方法，其中上述的(a)步骤包含提供一预型体，其具有圆柱形侧壁且该圆柱形侧壁包含该内表面及外表面。

6.如权利要求1所述的方法，其中在上述(d)步骤中，通过加热该组件并使得该组件的内表面膨胀超过该心轴的突起的高度，以便自该心轴移除该组件。

7.如权利要求1所述的方法，其中上述的(d)步骤至少包含通过在该预型体的外表面上按压旋转滚轮以在该预型体上施加一压力。

8.如权利要求1所述的方法，其中上述的预型体至少包含下列至少一个：铝、铜、不锈钢、钛及前述材料的合金。

9.一种如权利要求1所述方法所形成用于一基板处理室的组件，其中该组件包含下列至少一个：一处理室外罩壁、一处理室屏蔽、一靶材、一靶材边缘、一处理套组的一组件、一盖环、一沉积环、一支撑环、一绝缘环、一线圈、一线圈支撑件、一挡片、一夹合屏蔽及一基板支撑件。